压力-作用在膜上的力-由其变形确定

隔膜真空计特别适合于气体类型独立的压力测量，直至高真空。它们测量的是膜的弹性变形（Δs），这是不同的力作用在膜的不同侧面上的结果（见图）。

电容膜片真空计测量相对压力。量规中的基准体积被抽空到限定值p ₂，其中p ₂比必须在接收器p _1中测量的最小压力小得多。因此，由残余压力p ₂给出的总压力测量误差可忽略不计。

在电容膜片真空计中，压力敏感膜充当电容器的电极之一。变形（Δs）作为压力差的函数会导致其容量变化，可以直接准确地对其进行测量。膜片可以用热膨胀系数小的不锈钢制成，也可以用金属涂层的陶瓷制成。实际上，基于陶瓷的膜对温度变化较不敏感。此外，它们在粗糙条件下具有更好的松弛性，更高的耐腐蚀性和更好的可用性，因此具有更高的偏置稳定性。膜对温度变化引起的长度变化不敏感，因为这会影响测量。膜的厚度是决定最小可测量压力的关键因素。通常，具有给定厚度的膜可以覆盖大约4十年的压力范围。

通过将传感器温度调节至恒定45°C，可以提高精度。因此，温度对数据的影响最小。电容膜片真空计的优点是不受气体类型的影响，精度高（通常为测量值的0.2％）以及耐腐蚀性气体的能力。