特殊真空视窗和其他组件Special Viewports and Additional Components

特殊真空视窗和其他组件

ITO(氧化铟锡)用作硼硅酸盐或蓝宝石视口的涂层,以在保持透光率的同时提供导电性。这样可以防止电荷积聚,电场畸变和带电粒子(例如陶瓷粉末)的吸附。

另外,可以在这些视口上沉积闪烁膜(也称为磷光体膜)以可视化电子的衍射图。这种涂层视口主要用于表面分析技术,例如RHEED(反射高能电子衍射)。

在某些应用中(例如RHEED),会生成或使用X射线辐射。为了防止这种辐射离开真空室,可以将吸收X射线的铅玻璃盖固定在VACOM真空视口上。

为了保持清晰的视野,可在视口的真空侧放置可旋转的视口百叶窗,以保护玻璃在加工过程中不受热量或材料沉积的影响。

为了更灵活地定位光学元件,可以使用各种特殊设计,例如玻璃到金属的适配器,重新进入视口,与金属管或波纹管连接的视口。通过这种设计,光学元件可以例如灌入真空室中,从而使其更靠近测试对象。这可以用于聚焦目的。另一个示例是将两个腔室与透明玻璃管连接在一起以进行监视。