英国VacTechniche,真空镀膜系统,溅射镀膜机,DTT-GB 手套箱三重热蒸发

英国VacTechniche,真空镀膜系统,溅射镀膜机,DTT-GB 手套箱三重热蒸发

DTT-GB 手套箱三重热蒸发

Vac Techniche 真空镀膜系统

Vac Techniche 手套箱三热源桌面涂布机为各种形式的源材料(包括线、绳、颗粒和粉末)提供了一个非常通用的热蒸发系统,与船/篮和线圈源支架兼容。兼容手套箱,遥控,电动腔室升降机构。
双磁控管靶台式溅射镀膜机可以在蒸发和溅射沉积之间轻松切换,以制备多层镀膜。

DTT-GB 蒸发涡轮
分子泵

90 L/s 涡轮分子泵直接安装在真空包络底板上,并由 6 m3/h 两级旋转泵提供支持,该泵可引入清洁真空,而不会像普通扩散泵那样受到油污染

热蒸发
舟/篮/盘管

台式热蒸发器可配备三个独立的热阻热蒸发源。蒸发源支架的良好设计不会造成源材料相互污染。源架的长度可在 5cm~9cm 范围内调整。

 


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