DTE台式热蒸发
台式涂布机系统
SEM/TEM样品制备真空技术
DTE是一种台式热蒸发器系统，用于在基材上沉积薄层材料，用于研究目的和电子显微镜研究。DTE被配置为适用于样品蒸发实验的材料蒸发器。这种低预算、小腔室和高真空系统非常适合短时间沉积贵金属和氧化金属。
该系统配备了1.2千瓦的大电流直流电源。该系统可以在不同的表面上沉积一层薄薄的蒸发材料，用于不同的应用，如SEM样品制备。
DTE配备了一个7英寸彩色触摸屏面板，使用用户友好的软件来控制沉积过程数据。真空和涂层顺序信息可以在触摸屏上以数字数据或曲线的形式观察到，最后300层涂层保存在历史页面上。
DTE沉积系统提供了向上和向下金属蒸发配置的多功能性。
对于向上沉积，材料被装载到舟源中，样品被附着在腔室的s型唇上，便于接近。
在向下沉积的情况下，将少量所需材料装入篮中，并可选择在基板上使用旋转样品架。
DTE配备了大电流电源和低压（电阻）热蒸发平台，适用于各种热蒸发应用。该系统允许在基板上控制各种材料的热蒸发。不同类型的热蒸发源（船、篮子和线圈）可以安装在单个热源架上。
特点
物料蒸发半自动控制
配备独立的直流大电流电源（最大12V，100A）
直径170mm的硼硅酸盐SST真空室
内置涡轮泵的高真空度（Leybold 90 l/s）
两级旋转（可选隔膜或涡旋）背压泵
用于实时厚度测量的石英晶体监测系统（1nm精度）
电子快门
两个用于插入热源的大电流馈通
可移动热源架，可向上或向下沉积配置
自动排气阀
全量程真空计
腔室引线上的S-Clip样品架
基板上的2英寸旋转样品架（可选）
样品旋转、高度和倾斜可调（适用于可选的2英寸样品架）
应用
金属薄膜
纳米与微电子
太阳能电池应用
薄膜传感器
用于SEM和FE-SEM样品制备的细粒结构沉积
扫描电镜样品制备中的碳纤维闪光蒸发
规格
极限真空度：小于4×10-6Torr
低持续时间沉积工艺
记录和绘制触摸屏上显示的参数
通过USB端口将曲线和沉积过程数据传输到PC
