双磁控靶台式溅射镀膜机可以很容易地在蒸发和溅射沉积之间切换，用于制备多层涂层。
蒸发源
小船
篮子
线圈/电线
真空系统包括:
耐热圆柱形耐热玻璃，外径300毫米，高200毫米。
90升/秒涡轮分子泵直接安装在真空外壳底板上，由一个6 m3/h的两级旋转泵支持，该泵引入清洁的真空，没有普通扩散泵通常存在的油污染
干式前级泵选项也可用
DTT三蒸发源选择是多层或合金沉积的理想选择。
带整体涡轮泵的DTT可快速达到压力，使涂层过程在几分钟内开始。它是研究、实验室和产品应用的理想选择
DCT-台式碳涂布机/
涡轮泵碳涂布机提供多种样品台配置，以满足各种用户需求。样品台的设计便于旋转、高度可调和快速互换。对于多孔样品的均匀涂层，您可以选择旋转行星样品台作为附加功能。
DTT-GB蒸发
涡轮分子泵
90升/秒涡轮分子泵直接安装在真空外壳底板上，由一个6 m3/h的两级旋转泵支持，该泵引入清洁的真空，没有普通扩散泵通常存在的油污染
特征
- 多层热涂层
- 大型试验箱
- 高真空涡轮泵300升/秒
- 隔膜前级泵
- 全量程真空计
- 用于多层薄膜沉积的蒸发源(舟/篮/盘管)选择
- 共蒸发形成合金薄膜
- 用于实时厚度测量的石英晶体监控系统(1 nm精度)
- 手动模式、电源、时间控制
- 自动定时和厚度沉积
- 易于使用的触摸屏控制面板
- 快速数据输入
- 方便用户的
- 可以通过网络更新的软件
- 配有电子快门
- 配有旋转样品架
- 500°C辐射衬底加热器
应用
- 金属和电介质薄膜
- 薄膜涂层
- 光学涂层
- 纳米和微电子
- 医疗组件
- 磁性设备
- 薄膜多层器件
