DTT涡轮三重热蒸发
SEM/TEM涂层系统
Vac Techniche真空镀膜系统
Vac Techniche三热源台式涂布机为各种形式的源材料提供了一个非常通用的热蒸发系统，包括线材、绳索、颗粒和粉末，与船/篮和线圈源支架兼容。
三个独立的耐热热蒸发源。
设计的蒸发源支架不会造成源材料相互污染。
源支架的长度可以在50mm~90mm的范围内调整。
共蒸发升级可用
蒸发源：
- 船
- 篮子
- 线圈/电线
真空系统由以下部分组成：
耐热圆柱形Pyrex，外径300毫米，高200毫米。
90L/s涡轮分子泵直接安装在真空包封基板上，并由6m3/h的两级旋转泵支撑，该泵引入清洁的真空，没有普通扩散泵通常存在的油污染。
干式背压泵选项也可用
DTT三重蒸发源的选择非常适合多层或合金的沉积。
DTT配备整体涡轮泵，可快速达到压力，使涂层过程在几分钟内开始。它是研究、实验室和产品应用的理想选择
DTT-Turbo三重热蒸发系统配备7英寸彩色触摸屏和全自动控制和数据输入，即使是没有经验的用户也可以操作该系统。
真空、电流和沉积信息在触摸屏上显示为数字数据或曲线。该系统还将最后300种涂层的信息保存在历史页面中。
三源蒸发或带蒸发源（船/篮/线圈）选择系统的台式热蒸发器是沉积多层或合金的理想选择。
DTT蒸发
涡轮分子泵
90 L/s涡轮分子泵直接安装在真空包封基板上，并由6 m3/h的两级旋转泵支撑，该泵引入清洁的真空，没有普通扩散泵通常存在的油污染
热蒸发
船/篮子/线圈
台式热蒸发器可以配备三个独立的热阻热蒸发源。蒸发源支架的良好设计不会导致源材料相互污染。源支架的长度可以在5cm~9cm的范围内调整。
特点
多层热涂层
大幅面腔室
高真空涡轮泵300 l/s
隔膜背压泵
全量程真空计
多层薄膜沉积的蒸发源（舟/篮/线圈）选择
钴蒸发形成合金膜
用于实时厚度测量的石英晶体监测系统（1nm精度）
手动模式、电源、时间控制
自动定时和厚度沉积
易于使用的触摸屏控制面板
快速数据输入
用户友好
可通过网络更新的软件
配备电子快门
配备旋转式样品架
500°C辐照基板加热器
规格
多船、篮子和线圈安装
极限真空度：小于2×10-6torr
板内处理器记录并绘制涂层参数图
用于导出沉积过程数据的USB端口
自动控制：功率和涂层独立于压力
大电流馈通
应用
金属和电介质薄膜
薄膜涂层
光学涂层
纳米和微电子
医疗组件
磁性设备
薄膜多层器件
