VacTechniche真空镀膜系统、DST2-TGB手套箱溅射和热蒸发、台式溅射系统、涡轮泵溅射镀膜机

DST2-TG磁控台式溅射镀膜机是一种高精度半自动/全自动真空镀膜系统，配有一个大室(直径300毫米)和两个直径2英寸的水冷阴极，这使其适合长时间沉积。该系统是用于溅射、碳纤维和金属蒸发的单一平台。磁控管台式溅射镀膜机可以溅射半导体、电介质和金属靶。溅射阴极和热蒸发舟可以安装在一起或互换，总共可以使用三个沉积源。通过利用碳纤维，碳沉积也成为可能。

特征

• 用于手套箱安装的溅射镀膜机和热蒸发器的组合

• 内置的涡轮分子泵

• 大室:直径。30厘米，身高。20-25厘米

• 简单快速的目标安装:不需要目标持有人

• 利用具有背板的靶的增强热传导

• 旋转样品架

• 安装在手套箱上的KF40馈通，用于电源(DC、射频、高电流)、真空泵软管、水冷却和氩气/活性气体连接以及电气连接。

• 通过MFC进行气体注入控制

• 双精度石英晶体厚度传感器

规范

• 在手套箱安装的室中，在惰性气体气氛下，在沉积过程之前或之后进行安全和清洁的衬底处理

• 极限真空:小于8×10-6托

• 高度可控的室环境和手套箱内的高纯度薄层沉积

• 无需标靶支架即可轻松快速安装标靶

• 利用具有背板的靶来改善热传导

• 每个阴极的独立溅射控制速率，以产生细晶粒结构

• 自动安全控制阴极温度，以保护磁铁的使用寿命

• 使用全自动触摸屏控制快速记录数据

• 两个精密质量流量计(MFC ),用于精确控制真空和压力

• 记录并绘制涂层参数图。

• 通过USB端口或Wi-Fi连接将曲线和沉积过程数据传输到PC

• 0- 1200伏0-500毫安DC电源