对于2″磁控溅射和等离子体产生
由Vac Techniche Ltd制造的用于溅射的RF发生器和等离子体发生器是用于工业和实验室沉积、等离子体产生、甚至电介质加热和熔化的可靠设备。该器件也是半导体制造系统最重要的组件之一，用于生产现代计算机和电子设备中的集成电路(ic)和芯片。
Vac Techniche射频发生器及其阻抗匹配网络构成了一个完整的射频等离子体发生组件。射频发生器的设计和制造频率为27.12 MHz、13.56 MHz、2 MHz或客户指定的其他频段。
特点
- 反射功率限制器
- 空气冷却(DC到射频的转换效率大于70%)
- 具有触摸屏的图形控制、显示和调节系统
- 各种保护类型(针对反射功率、过热、过流和过压)，能够自动限制传输功率
- 用于远程控制发电机输出功率的0-5 V输入电压；大于300 W的型号效率超过90%
- 发射和反射功率值的模拟输出
- 输出功率的闭环控制，使调整后的功率随时间保持稳定
- 充分屏蔽以防止辐射和电磁干扰噪声，并采取必要措施保护操作人员健康
- 可安装在机架上的盒子
电源 | 220伏(200-240伏)，50赫兹(50-60赫兹) |
输出频率 | 13.56兆赫 |
保护 | 各种类型(防止反射功率、过热、过流和过压)，尤其是反射功率限制器 |
显示 | 带触摸屏或数字显示器的图形显示器 |
遥控 | 数字RS485 |
工作温度 | 10-40摄氏度 |
冷却 | 有空调的 |
输出阻抗 | 50ω(电阻性) |
RFG150 | RFG300 | RFG600 | RFG1000 | RFG2000 | RFG5000 | |
频率(兆赫) | 13.56 | 13.56 | 13.56 | 13.56 | 13.56 | 13.56 |
功率(瓦) | 150 | 300 | 600 | 1000 | 2000 | 5000 |
输出阻抗(欧姆) | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
连接类型 | 模拟和数字max485 | 模拟和数字max485 | 模拟和数字max485 | 模拟和数字max485 | 模拟和数字max485 | 模拟和数字max485 |
前面板显示器 | 液晶显示 | 液晶显示 | 液晶显示 | 液晶显示 | 7段 | 7段 |
输出连接器 | N | N | N | N | N | 7/16 |
触摸屏 | 是 | 是 | 是 | 是 | 不 | 不 |
输入功率 | 单相 | 单相 | 单相 | 单相 | 3阶段 | 3阶段 |
冷却 | 用空气冷却的 | 用空气冷却的 | 用空气冷却的 | 用空气冷却的 | 用空气冷却的 | 空气和水冷 |