VacTechniche台式溅射镀膜机-DSR1、台式磁控溅射镀膜机DSR1、溅射涂布机
台式溅射镀膜机-DSR1
SEM涂层机|溅射涂层机
SEM/TEM样品制备真空技术
Vac Techniche台式溅射镀膜机能够在不导电或导电性差的样品或设备上溅射贵金属薄膜：金（Au）、钯（Pd）、铂（Pt）和金/钯（Au/Pd）。
使用溅射涂层制备样品是公认的非导电和低导电试样或样品的方法。
DTE配备了大电流电源和低压（电阻）热蒸发平台，适用于各种热蒸发应用。
VacTechniche DSR1的开发超越了SEM/TEM样品制备的要求。紧凑且易于使用的溅射涂布机可以选择使用现有的泵或随泵提供。对于外部泵送，车载计算机控制泵或泵送设备。
台式磁控溅射镀膜机（DSR1）是一种高效工具，以在全自动系统中提供一致且高度可重复的结果而闻名。其符合人体工程学的设计和较小的占地面积使DSR1 SEM涂层系统易于使用。
DSR1-170是一款专门为制备扫描电子显微镜（SEM）样品而设计的溅射涂布机。
DSR1配备了2英寸磁控阴极和80W开关直流电源，适用于各种研究和薄膜应用。此外，它可以配备水冷阴极，使其适用于延长沉积过程。该型号可容纳尺寸高达4英寸的基板。
| DSR1台式溅射镀膜机配备7英寸彩色触摸屏和全自动控制软件。它以数字或曲线形式显示真空和涂层数据。最近300次涂层的历史记录被存储，可以通过USB端口传输到PC。 |
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| DSR1提供各种样品台配置，以满足不同的用户需求。标准样品台可旋转，高度和角度可调，便于更换。此外，还可以选择旋转行星样品台，这是在多孔试样上实现均匀涂层的理想选择。 |
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特点
- 两级旋转泵选项
- 2英寸溅射头
- 碳纤维头升级选项
- 碳杆头升级选项
- 石英晶体厚度监测器。
- 触摸屏控制。
- 快速数据输入。
- 用户友好的软件。
- 精确控制涂层速率。
- 时间和厚度溅射的手动控制选项。
- 手动设置、时间、厚度和溅射功率。
- 自动定时和厚度溅射。
- 旋转台为标准配置。
应用
SEM和TEM样品制备。
薄膜沉积涂层。
金属溅射沉积。
光学涂层。
样品溅射涂层。
诺贝尔金属溅射。
多样品涂层。
规格
能够沉积贵金属
能够进行GLAD溅射
外径170毫米、高度140毫米的派热克斯气缸室
尺寸：高45厘米x宽46厘米x深37厘米
高精度厚度监测仪
极限真空度：小于40毫托
氩气电子泄漏阀
阴极自动温度控制，延长磁体寿命
通过全自动触摸屏面板高效输入数据
记录并绘制涂层参数
内置USB端口，用于将曲线和沉积数据传输到PC
电源：220V-110V，50/60 Hz，1.5 kW
80瓦直流开关电源
装运重量（包括真空泵）：42公斤