VacTechniche Ltd射频发生器 RFG600射频等离子发生器 VacTechniche进口代理

VacTechniche Ltd射频发生器 RFG600射频等离子发生器 VacTechniche进口代理

VacTechniche  RFG600射频等离子发生器

RF Plasma Generators 600W

用于溅射和等离子体产生的射频发生器100瓦、200瓦、300瓦、600瓦至5000瓦

由Vac Techniche Ltd制造的用于溅射的RF发生器和等离子体发生器是用于工业和实验室沉积、等离子体产生、甚至电介质加热和熔化的可靠设备。该器件也是半导体制造系统最重要的组件之一,用于生产现代计算机和电子设备中的集成电路(ic)和芯片。Vac Techniche射频发生器及其阻抗匹配网络构成了一个完整的射频等离子体发生组件。

射频发生器的设计和制造频率为27.12 MHz、13.56 MHz、2 MHz或客户指定的其他频段。

为什么是13.56 MHz?

该频率是工业、科学和医疗(ISM)无线电波段中最常用的频率之一。该频段允许大功率活动,而不会对周围的电信系统造成任何干扰,因为它是通用的。功率从几毫瓦到几百千瓦不等的发电机用于这个波段。

真空技术射频(RF)发生器

这些发生器的设计结合了射频电子技术、先进的功率放大器保护、闭环控制和高安全系数。
简单的制造和维修程序以及非常高的效率是这种产品的一些独特的品质。其他特征包括防止产生电磁干扰的安全性、连续操作能力、操作和控制的简易性、显示产生的错误类型、显示发射和反射功率、用于控制发生器输出功率的0-5 V输入电压(可选)、发射和反射功率值的模拟输出(可选)、限制反射功率的能力以及压缩空气冷却系统。
Vac Techniche生产的这种设备的型号从100 W到15 kW,带半导体元件,到100 kW,带基于真空管的放大器。
RF150W
RF300W
结合真空技术进行设计匹配网络

VacTechniche射频等离子发生器特性和功能:

  • 反射功率限制器
  • 空气冷却(DC到射频的转换效率大于70%)
  • 具有触摸屏的图形控制、显示和调节系统
  • 各种保护类型(针对反射功率、过热、过流和过压),能够自动限制传输功率
  • 用于远程控制发电机输出功率的0-5 V输入电压;大于300 W的型号效率超过90%
  • 发射和反射功率值的模拟输出
  • 输出功率的闭环控制,使调整后的功率随时间保持稳定
  • 充分屏蔽以防止辐射和电磁干扰噪声,并采取必要措施保护操作人员健康
  • 可安装在机架上的盒子

VacTechniche 射频等离子发生器技术条件:

电源
220伏(200-240伏),50赫兹(50-60赫兹)
输出频率
13.56兆赫
保护
各种类型(防止反射功率、过热、过流和过压),尤其是反射功率限制器
显示
带触摸屏或数字显示器的图形显示器
遥控
数字RS485
工作温度
10-40摄氏度
冷却
有空调的
输出阻抗
50ω(电阻性)
尺寸(厘米)
取决于设备输出
重量
取决于设备输出
输出连接器
2016年7月
盒子材料

VacTechniche RFG系列射频等离子发生器货号:

RFG150
RFG300
RFG600
RFG1000
RFG2000
RFG5000
频率(兆赫)
13.56
13.56
13.56
13.56
13.56
13.56
功率(瓦)
150
300
600
1000
2000
5000
输出阻抗(欧姆)
50
50
50
50
50
50
连接类型
模拟和数字max485
模拟和数字max485
模拟和数字max485
模拟和数字max485
模拟和数字max485
模拟和数字max485
前面板显示器
液晶显示
液晶显示
液晶显示
液晶显示
7段
7段
输出连接器
N
N
N
N
N
7/16
触摸屏
输入功率
单相
单相
单相
单相
3阶段
3阶段
冷却
用空气冷却的
用空气冷却的
用空气冷却的
用空气冷却的
用空气冷却的
空气和水冷

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