VacTechniche Ltd 台式溅射系统 DTT-GB 手套箱三热源台式涂布机VacTechniche 进口代理
VacTechniche DTT-GB 手套箱三热源台式涂布机
DTT-GB Glovebox Triple Thermal Evaporation
Desktop Sputter System 台式溅射系统、真空镀膜系统
Vac Techniche手套箱三热源台式涂布机提供了一个非常通用的热蒸发系统，适用于各种形式的各种源材料，包括线、绳、颗粒和粉末，与舟/篮和线圈源支架兼容。手套箱兼容，远程控制，机动室提升机构。
双磁控靶台式溅射镀膜机可以很容易地在蒸发和溅射沉积之间切换，用于制备多层涂层。
T三个独立的热阻热蒸发源.
源温度控制选项、衬底温度监测和控制选项
E蒸发源支架的设计不会导致源材料相互污染。
T源支架的长度可在50毫米至90毫米的范围内调节。
Co-蒸发升级可用
蒸发源
小船
篮子
线圈/电线
真空系统包括:
耐热圆柱形耐热玻璃，外径300毫米，高200毫米。
90升/秒涡轮分子泵直接安装在真空外壳底板上，由一个6 m3/h的两级旋转泵支持，该泵引入清洁的真空，没有普通扩散泵通常存在的油污染
干式前级泵选项也可用
DTT三蒸发源选择是多层或合金沉积的理想选择。
带整体涡轮泵的DTT可快速达到压力，使涂层过程在几分钟内开始。它是研究、实验室和产品应用的理想选择。
DTT-GB蒸发
涡轮分子泵
90升/秒涡轮分子泵直接安装在真空外壳底板上，由一个6 m3/h的两级旋转泵支持，该泵引入清洁的真空，没有普通扩散泵通常存在的油污染
热蒸发
船/篮子/线圈
台式热蒸发器可以安装三个独立的热阻热蒸发源。蒸发源支架的良好设计不会导致源材料相互污染。源支架的长度可以在5cm～9cm的范围内调节。
VacTechniche DTT-GB 手套箱三热源台式涂布机特征：
-多层热涂层
-大型试验箱
-高真空涡轮泵300升/秒
-隔膜前级泵
-全量程真空计
-用于多层薄膜沉积的蒸发源(舟/篮/盘管)选择
-共蒸发形成合金薄膜
-用于实时厚度测量的石英晶体监控系统(1 nm精度)
-手动模式、电源、时间控制
-自动定时和厚度沉积
-易于使用的触摸屏控制面板
-快速数据输入
-方便用户的
-可以通过网络更新的软件
-配有电子快门
-配有旋转样品架
-500°C辐射衬底加热器
-两年保修
VacTechniche DTT-GB 手套箱三热源台式涂布机规格参数：
-多船、篮子和线圈安装
-极限真空:小于2×10-6托
-板载处理器记录并绘制涂层参数图
-用于导出沉积过程数据的USB端口
-自动控制:独立于压力的电源和涂层
-高电流馈通
–DC电源，0-100安培大电流，
-短路保护，
-公用设施:220伏-50赫兹-16安
-尺寸:60厘米高× 65厘米宽× 50厘米深
-运输重量:约60千克
VacTechniche DTT-GB 手套箱三热源台式涂布机应用：
-金属和电介质薄膜
-薄膜涂层
-光学涂层
-纳米和微电子
-医疗组件
-磁性设备
-薄膜多层器件
DTT具有以下选项和附件:
-大电流电源
-石英晶体
-备用玻璃
-蒸发源(舟/篮/盘管)
-热源材料
-质量流量控制器
