VacTechniche Ltd DST2-TGB 双磁控靶台式溅射镀膜机、 多真空镀膜机系统 VacTechniche进口代理
VacTechniche DST2-TGB 双磁控靶台式溅射镀膜机
DST2-TGB Glovebox Sputter and Thermal Evaporation
Desktop Sputter System台式溅射系统、真空镀膜系统
DST2-TG是一款用于手套箱的带热蒸发器的双靶涡轮泵溅射镀膜机，是一款多真空镀膜机系统，将热蒸发器和溅射镀膜机结合在一个紧凑的台式系统中，通过Wi-Fi连接进行远程系统控制，可通过触摸屏和PC进行控制。高真空系统适用于各种材料的沉积。
双磁控靶台式溅射镀膜机可以很容易地在蒸发和溅射沉积之间切换，用于制备多层涂层。
DST2-TGB
手套箱系统
手套箱系统为敏感材料提供了一个受保护的环境，防止与空气或湿气的任何接触以及不必要的相互作用。带手套箱的DST2-TG高真空镀膜系统在惰性气体环境下的沉积过程之前或之后提供安全和清洁的基材处理，以及高度可控的室环境，有助于在高真空条件下进行高纯度薄层沉积。
DST2-TGB
磁控管台式溅射镀膜机
DST2-TG磁控台式溅射镀膜机是一种高精度半自动/全自动真空镀膜系统，配有一个大室(直径300毫米)和两个直径2英寸的水冷阴极，这使其适合长时间沉积。该系统是用于溅射、碳纤维和金属蒸发的单一平台。磁控管台式溅射镀膜机可以溅射半导体、电介质和金属靶。溅射阴极和热蒸发舟可以安装在一起或互换，总共可以使用三个沉积源。通过利用碳纤维，碳沉积也成为可能。
VacTechniche DST2-TGB 双磁控靶台式溅射镀膜机特征：
用于手套箱安装的溅射镀膜机和热蒸发器的组合
内置的涡轮分子泵
大室:直径。30厘米，身高。20-25厘米
简单快速的目标安装:不需要目标持有人
利用具有背板的靶的增强热传导
旋转样品架
安装在手套箱上的KF40馈通，用于电源(DC、射频、高电流)、真空泵软管、水冷却和氩气/活性气体连接以及电气连接。
通过MFC进行气体注入控制
双精度石英晶体厚度传感器
Vac coat产品在全球范围内都有公共和产品责任保险，以防由Vac Coat系统造成的任何财产损失或人身伤害。
VacTechniche DST2-TGB 双磁控靶台式溅射镀膜机规格参数：
在手套箱安装的室中，在惰性气体气氛下，在沉积过程之前或之后进行安全和清洁的衬底处理
极限真空:小于8×10-6托
高度可控的室环境和手套箱内的高纯度薄层沉积
无需标靶支架即可轻松快速安装标靶
利用具有背板的靶来改善热传导
每个阴极的独立溅射控制速率，以产生细晶粒结构
自动安全控制阴极温度，以保护磁铁的使用寿命
使用全自动触摸屏控制快速记录数据
两个精密质量流量计(MFC ),用于精确控制真空和压力
记录并绘制涂层参数图。
通过USB端口或Wi-Fi连接将曲线和沉积过程数据传输到PC
0- 1200伏0-500毫安DC电源
公用设施:220伏-110伏，50/60赫兹-16/25安。
仪器尺寸:550宽x 600深x 600高毫米
净重:120千克(泵、机架和仪器箱)
自动化：
直观的触摸屏控制涂层过程和快速数据输入
用户友好的软件，可通过网络更新
半自动涂层工艺(可选)
真空玻璃室的软件可控垂直移动
手动或自动定时和厚度沉积
通过Wi-Fi连接从pc控制沉积过程
存储用于可重复沉积的涂层配方
多层薄膜的靶选择
电子快门
自动化阴极选择
VacTechniche DST2-TGB 双磁控靶台式溅射镀膜机选项和附件：
石英晶体传感器
备用玻璃室
溅射靶
密封垫圈
