VacTechniche Ltd 台式溅射系统、真空镀膜系统 DSR1台式溅射镀膜机
VacTechniche DSR1台式溅射镀膜机
Desktop Sputter Coater-DSR1
Vac Techniche台式溅射镀膜机能够在不导电或导电性差的样品或器件上溅射贵金属薄膜涂层:金(Au)、钯(Pd)、铂(Pt)和金/钯(Au/Pd)。
使用溅射涂层制备样品是不导电和低导电样本或样品的公认方法。
DTE配有大电流电源和低压(电阻)热蒸发平台，适用于各种热蒸发应用。
VacTechniche DSR1的开发超越了SEM/TEM样品制备的要求。紧凑和易于使用的溅射镀膜机，可以选择使用现有的泵或提供泵。对于外部泵送，车载计算机控制泵或泵送设备。
台式磁控溅射镀膜机(DSR1)是一种高效的工具，以在全自动系统中提供一致且高度可重复的结果而闻名。其符合人体工程学的设计和小尺寸使DSR1 SEM涂层系统易于使用。
DSR1-170被设置为溅射镀膜机，专门用于制备样品扫描电子显微镜(SEM)。
DSR1配有2英寸磁控管阴极和80W开关DC电源，适用于各种研究和薄膜应用。此外，它可以配备水冷阴极，使其适用于长期沉积过程。这种型号可容纳最大4英寸的基板。
VacTechniche DSR1台式溅射镀膜机特征：
-2”溅射头
-碳纤维杆头升级选项
-碳棒头升级选项
-石英晶体厚度监视器。
-触摸屏控制。
-快速数据输入。
-用户友好的软件。
-涂布率的精确控制。
-时间和厚度溅射的手动控制选项。
-手动设置，时间，厚度和溅射功率。
-自动定时厚度溅射。
-标准旋转台。
-两年保修
-CE符合性
VacTechniche DSR1台式溅射镀膜机应用：
-薄膜沉积涂层。
-金属溅射沉积。
-光学涂层。
-样品溅射涂层。
-诺贝尔金属溅射。
-多样品涂层。
自动化：
-直观的触摸屏来控制涂层工艺和快速数据输入
-用户友好的软件，可通过网络更新
-控制涂层速率以获得更细的晶粒结构
-半自动涂层工艺(可选)
-可重复和可编程溅射过程在自动模式下
-手动或自动定时和厚度沉积
-能够记录和绘制涂层参数图
-存储用于可重复沉积的涂层配方
VacTechniche DSR1台式溅射镀膜机规格参数：
-能够沉积贵金属
-能够进行愉快的溅射
-外径170毫米，高140毫米的耐热玻璃圆筒室
-尺寸:45厘米高x 46厘米宽x 37厘米深
-高精度厚度监视器
-极限真空:小于40毫托
-氩气电子泄漏阀
-自动控制阴极温度以延长磁体寿命
-通过全自动触摸屏面板高效输入数据
-记录并绘制涂层参数
-内置USB端口，用于将曲线和沉积数据传输到PC
-电源:220伏-110伏，50/60赫兹，1.5千瓦
-80瓦DC开关电源
-装运重量(包括真空泵):42千克
DSR1具有以下选项和附件:
-碳棒蒸发升级选项
-碳纤维蒸发升级
-石英晶体
-密封垫圈
-等离子清洁器
-行星样品旋转
-备用玻璃
-溅射靶
