VacTechniche Ltd 台式溅射系统、真空镀膜系统 DST1-170涡轮泵溅射镀膜机
VacTechniche DST1-170涡轮泵溅射镀膜机
紧凑型台式真空溅射和碳涂布机，专为小室设计，具有执行脉冲碳纤维蒸发的惊人能力。
SEM Coaters | Sputter Coaters 扫描电镜涂布机|溅射涂布机
DST1-170是一种尖端的高真空磁控台式溅射镀膜机。这种紧凑的涂层系统因其多功能性而脱颖而出，能够有效地涂覆氧化和非氧化金属。DST1-170是短期沉积需求的理想选择，擅长快速生产具有精细纹理的均匀薄膜。使用这一创新解决方案，体验快速而精确的涂层周期。
vac Coat DST1-170具有最小的台式尺寸，为高分辨率SEM和TEM样品制备提供DC溅射。
桌面溅镀机| DSR1
台式磁控溅射镀膜机(DSR1)是一种高效的工具，以在全自动系统中提供一致且高度可重复的结果而闻名。其符合人体工程学的设计和小尺寸使DSR1 SEM涂层系统易于使用。
由于自动过程控制，提供具有可重复结果的高分辨率涂层，允许容易的设置和操作。
DST1-170也可用于光学和薄膜涂层的一般金属溅射。样品旋转是标准配置，可针对大多数应用进行倾斜和高度调整。Vac Techniche也有一系列较大的涡轮泵溅射镀膜机，可选择1至3、2”磁控管、RF和DC、样品加热，这个范围是DST1-300范围。
这DST1-170也可用于光学和薄膜涂层的一般金属溅射。
DST1-170可以配备水冷阴极，这使其适合长时间沉积。
在这个模型中，基底的最大尺寸可以是4英寸。
DST1可以配备水冷阴极，这使得它适合于长时间沉积。
在这个模型中，基底的最大尺寸可以是4英寸。
DST1-170清洁真空
脉冲碳纤维升级选项
真空室是圆柱形的耐热玻璃。DST1-170配有内部安装的90升/秒涡轮分子泵，由6立方米/小时两级旋转叶片泵支持。它引入了清洁的真空，没有普通扩散泵通常存在的油污染。
DST1-170蒸发
脉冲碳纤维升级选项
紧凑型台式真空溅射和碳涂布机，专为小室设计，具有执行脉冲碳纤维蒸发的惊人能力。在该工艺中使用短脉冲导致沉积期间更精细程度的控制，并且作为显著的益处，导致通常与常规碳沉积方法相关的碎屑产生的显著减少。这一进步不仅提高了涂层精度，还大大减轻了碎片带来的挑战，使其成为各个领域的研究人员和专业人员的宝贵工具。
VacTechniche DST1-170涡轮泵溅射镀膜机特征：
-高真空涡轮泵。
-隔膜前级泵。
-全量程真空计。
-碳纤维蒸发(升级选项DSCT)
-脉冲或闪光碳纤维涂层模式(升级选项DSCT)
-高精度石英晶体厚度监视器。
-直观的触摸屏控制涂层过程和快速数据输入
-用户友好的软件，可以通过网络更新。
-控制涂层速率以获得更细的晶粒结构。
-手动或自动定时和厚度溅射。
-能够记录和绘制涂层参数图。
-配有电子快门。
-易于更换的样品载物台(标准旋转载物台)。
-两年保修。
VacTechniche DST1-170涡轮泵溅射镀膜机应用：
DST1，涡轮泵台式溅射镀膜机:DST1型磁控台式溅射镀膜机是一种紧凑型镀膜系统，能够镀膜半导体、电介质和金属(氧化和非氧化)。在快速循环时间内形成具有细晶粒尺寸的均匀薄膜。DST1配有磁控管阴极，根据需要，阴极的直径可以是2-4英寸。
dst 1–2:DST1-2配置为溅射涂布机和碳纤维涂布机(可选),在一台仪器中具有可互换的头，适用于扫描电子显微镜(SEM)样品制备。这种高真空镀膜机提供高质量的均匀薄膜，具有精细的晶粒尺寸，适用于需要高分辨率和高质量表征的样品，如FE-SEM、EDS/WDS、TEM和EBSD。DST1-2配有2英寸磁控管阴极、带匹配盒的300 W射频电源(可选)、80 W开关DC电源和用于碳蒸发的大电流电源(可选)，可用于研究和不同的薄膜应用
dst 1–4:带有4 “磁控管阴极的大型室DST1-4，水冷，非常适合涂覆直径达15 cm的大型样品，或多个直径相似的小型样品。无限制的溅射时间使其适合于厚层沉积。系统配有800 W DC电源、300 W射频电源(可选)及配套箱。该系统可以在不同表面上沉积各种材料，用于薄膜应用，如微纳米电子和SEM样品制备
自动化：
直观的触摸屏界面，用于控制涂层过程和快速数据输入。
可以远程更新的用户友好软件。
调整涂层速率，以改善颗粒结构质量。
半自动到全自动涂层工艺的选择。
自动模式下可重复和可编程的溅射操作。
通过时间和厚度手动或自动控制沉积。
记录和显示涂层参数图表的能力。
存储多种涂层配方，以获得一致的沉积结果。
VacTechniche DST1-170涡轮泵溅射镀膜机规格参数：
极限真空:小于2×10-6托。
控制溅射速率以获得更精细的晶粒结构。
独立于压力自动控制溅射功率。
精密质量流量计(MFC ),用于精确控制真空压力
能够记录和绘制涂层参数图。
通过USB端口将曲线和沉积过程数据传输到PC。
公用设施:220伏-50赫兹-16安。
装运重量(dst 1-2):28千克。
装运重量(dst 1-4):36千克
DST1-170型台式溅射镀膜机有以下选项和附件:
碳纤维蒸发头(DSCT)
碳棒蒸发头(DSCT)l
行星样品旋转。
备用玻璃。
溅射靶。
干式泵升级
溅射靶
碳纤维
真空室
真空室是一个圆柱形Pyrex，外径300毫米，高200毫米(DST1-4) /外径170毫米x高140毫米(DST1-2)。DST1配有内部安装的涡轮分子泵，由隔膜泵支持，隔膜泵引入清洁的真空，没有通常出现在普通扩散泵中的油污染。
