美国 Universitywafer 双面抛光 (DSP) 硅晶片

美国 Universitywafer 双面抛光 (DSP) 硅晶片

双面抛光 (DSP) 硅晶片

我们提供大量超平双面抛光优质和测试级硅晶片,涵盖各种直径、厚度、方向和电阻率。我们的总厚度变化库存中只有 1 微米的 TTV。

为了增加晶片的平整度,就是要对晶片的背面进行抛光。双面抛光有助于降低硅晶片表面的粗糙度。在制造需要超平面和低粗糙度规格的 MEMS 器件时,这是必须的。

除非另有说明,否则以下是 CZ 晶圆晶圆是 SEMI prime,具有一个或两个平面或缺口。总厚度变化为 <1 μm,弓形 <5μm,翘曲为 <10μm。所有晶圆均为 Prime 级,并装在密封的硬塑料盒中运输。

项目类型/DopOri.直径(mm)总吨位(μm)Polish分辨率 Ωcm
6971n 型 Si:P[100-25° 朝向[110] ±1°6″675DSP1-100
S5594 系列P/B[100]5″990 ±8DSP1-25
D868 系列P/B[100]5″590DSP1-30
F709 系列n 型 Si:P[100]5″762 ±12DSP5-35
S6284 系列n 型 Si:P[100] ±1°4″200 ±10DSP1,000 斐济>
G706 系列本征 Si:-[100]4″500DSPFZ >20,000
6356本征 Si:-[100]4″500DSPFZ >20,000
J302 系列P/B[100]4″600DSP1-50
7089P/B[100]4″381 ±7DSP0.014-0.021
F022 系列P/B[111] ±0.3°4″350 ±5DSP<0.05
6570n 型 Si:P[100]4″400DSP1-10

双面抛光硅片应用的优势

光学相干断层扫描 (OCT) 是用于制造半导体元件的最重要工具之一。其精确的厚度测量使其能够制造高质量的硅晶片。该系统非常适合制造硅器件,例如高频集成电路。它还有助于改进制造工艺,对广泛的工业应用有效

双面抛光硅片最重要的特性是其改进的性能。其镜面处理消除了表面的微粗糙和损伤,从而提高了效率并降低了污染风险。该过程涉及几个步骤,有助于确保高质量和一致的表面处理。本文将概述双面抛光的好处以及它如何使您的业务受益。对于半导体来说,这是一种经济高效的选择。

双面抛光硅片的主要优势是其卓越的性能。晶片的两面都经过抛光至镜面光洁度。因此,表面污染显著减少。该工艺还可有效降低颗粒捕获的风险,而颗粒捕获会导致性能不佳和效率低下。抛光工艺还使硅晶片比普通晶片更薄,从而形成单铸锭制造方法。


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