美国 UNIVERSITY WAFER Epi-Ready 经过表面处理、适合用于外延生长的单晶硅片

美国 UNIVERSITY WAFER Epi-Ready 经过表面处理、适合用于外延生长的单晶硅片

在衬底上生长双外延层

一位半导体器件工程师要求提供以下报价:

你们可以在 4 英寸 N+ 基材上种植双外延层吗?详情请见下文。

UniversityWafer, Inc. 报价:

我们提供:

项目数量 描述
HJ48. 25/50/100 p/n/n+ 外延片,4“ (100.0±0.5mm)Ø×420±25μm
衬底:n 型 Si:As[111-4°]±0.5°,Ro=(0.0015-0.0030)Ohmcm,TTV
<5μm,弓形<40μm,翘曲<40μm,TIR<6μm,
单面抛光,背面蚀刻,1 SEMI 平面,边缘:圆形,
背面密封:17.5±2.5μm 传质单层(防止自动掺杂所必需的),

EPI 第 1 层:20±2μm 厚,n 型 Si:P,Ro=4.6±0.4Ohmcm,EPI
第 2 层(顶层):25.0±2.5μm 厚,p 型 Si:B,Ro=0.0100±0.0001hmcm,
整体:SF<10/cm²,滑点<0.15(边缘排除 3mm),LPD≤5 @>20μm,总 LLS≤16@>0.5μm,雾度,异物,划痕,边缘碎屑:全部无, 其他每个 SEMI,密封在 Empak 或等效盒中。

UniversityWafer, Inc. 提供为需要超洁净、无缺陷活性层的应用量身定制的外延涂层硅晶圆。这些晶圆非常适合高性能 CMOS 图像传感器功率器件和 RFIC,在这些应用中,精确控制掺杂曲线至关重要。

我们的外延片在重掺杂单晶硅衬底上使用化学气相沉积 (CVD) 生长,提供卓越的电气性能和器件可靠性。

  • CMOS 图像传感器 – 低暗电流、高动态范围

  • 功率器件 (IGBT, MOSFET) – 改进的击穿电压和开关速度

  • RF 和微波电路 – 增强的信号隔离和线性度

  • 光电探测器和光电二极管 – 低缺陷密度、高纯度层

  • MEMS 器件 – 兼容深沟槽和高深宽比蚀刻

参数典型值
晶圆直径100 毫米、150 毫米、200 毫米、300 毫米
取向<100>、<111>
Epi Layer Thickness2 微米 – 20 微米
外延层电阻率5–25 Ohm·cm(可定制)
衬底电阻率0.01–0.05 欧姆·厘米
掺杂类型P 型或 N 型(Bor、Phos、Arsenic)
表面光洁度DSPSSP、Prime 级

6“ 外延硅片

项目库存数量酶作用物EPI评论
大小类型分辨率 Ωcm冲浪。厚 μm类型分辨率 Ωcm
G541 系列1506 英寸直径 x 675 微米n- 硅:磷[100]0.001-0.002P/EOx0.016n- 硅:磷0.32-0.46不 / n+

4“ 外延硅片

项目库存数量酶作用物EPI评论
大小类型分辨率 Ωcm冲浪。厚 μm类型分辨率 Ωcm
编号 D27464 英寸直径 x 360 微米n- 硅:锑[111]0.005-0.020市盈率20n- 硅:磷360 – 440不 / n+
E4_15184 英寸直径 x 400 微米p- 硅:B[111]0.01-0.10市盈率6.5
22±1.5
p- 硅:B
p- 硅:B
3,6±10%
300±50
市盈率/市盈率+
E4_13474 英寸直径 x 525 微米p- 硅:B[111]0.01-0.02市盈率(英文) 8.1±1
元 6.85±0.75 元
p- 硅:B
p- 硅:B
4.5±10%
0.75±0.15
市盈率/市盈率+
E4_10464 英寸直径 x 380 微米p- 硅:B[111]0.008-0.020P/EOx10.5p- 硅:B570±10%市盈率+
E4_2234 英寸直径 x 440 微米p- 硅:B[111]0.008-0.020市盈率20p- 硅:B0.15 ±10%市盈率+
E4_10644 英寸直径 x 440 微米p- 硅:B[111]0.008-0.020市盈率20p- 硅:B0.25±10%市盈率+
E4_10574 英寸直径 x 525 微米p- 硅:B[111]0.001-0.005市盈率20p- 硅:B175±10%市盈率+
E4_26104 英寸直径 x 440 微米p- 硅:B[111]0.008-0.020市盈率21p- 硅:B150 ±10%市盈率+
E4_10784 英寸直径 x 380 微米p- 硅:B[111]0.008-0.020P/EOx23p- 硅:B200±10%市盈率+
E4_10894 英寸直径 x 380 微米p- 硅:B[111]0.008-0.020P/EOx23p- 硅:B80±10%市盈率+
E4_4244 英寸直径 x 440 微米p- 硅:B[111]0.008-0.020市盈率32p- 硅:B600 ±10%市盈率+
E4_10984 英寸直径 x 440 微米p- 硅:B[111]0.01-0.02市盈率32.5p- 硅:B100±10%市盈率+
E4_2154 英寸直径 x 380 微米p- 硅:B[111]0.008-0.020P/EOx40p- 硅:B550 ±10%市盈率+
E4_13334 英寸直径 x 525 微米p- 硅:B[111]0.01-0.02市盈率14
10
n- 硅:P
p- 硅:B
2.5±0.3
15
N/P/P+
E4_13524 英寸直径 x 525 微米p- 硅:B[111]0.01-0.02市盈率14
10
n- 硅:P
p- 硅:B
2.5±10%
9±10%
n/p/p+
E4_11384 英寸直径 x 525 微米n- Si:As[111]0.0010-0.0035市盈率20
10
p- 硅:B
n- 硅:P
10±1.5
5.5±0.7
P/N/N+
E4_12754 英寸直径 x 381 微米n- Si:As[111]0.0010-0.0035市盈率33
10
p- 硅:B
n- 硅:P
12±10%
4±10%
P/N/N+
E4_14794 英寸直径 x 525 微米n- Si:As[111]0.0010-0.0035市盈率33±5
9 元
p- 硅:B
n- 硅:P
12±2
4
P/N/N+
E4_12864 英寸直径 x 525 微米n- Si:As[111]0.0010-0.0035市盈率37
16.5
p- 硅:B
n- 硅:P
35±10%
12.5±10%
P/N/N+
E4_12474 英寸直径 x 525 微米n- Si:As[111]0.0010-0.0035市盈率45
7±1
p- 硅:B
n- 硅:P
13±10%
12±10%
P/N/N+
E4_14464 英寸直径 x 525 微米n- Si:As[111]0.0010-0.0035市盈率45
7
p- 硅:B
n- 硅:P
14.5±10%
12±10%
P/N/N+
E4_13284 英寸直径 x 525 微米n- Si:As[111]0.002-0.005市盈率88
88 元
p- 硅:B
n- 硅:P
票价 80,5±10%
27±10%
P/N/N+
E4_14574 英寸直径 x 380 微米n- Si:As[111]0.002-0.005市盈率105
26 元
p- 硅:B
n- 硅:P
0.0035±10%
5±10%
P/N/N+
E4_12254 英寸直径 x 525 微米n- Si:As[111]0.0010-0.0035市盈率10.15
6.8±0.8
n- 硅:P
n- 硅:P
3,8±0.5
0,55±0.15 元
不 / 否 / 否+
E4_8494 英寸直径 x 380 微米n- Si:As[111]0.004-0.008P/EOx16.5n- 硅:磷35 ±10%不 / N+
E4_14384 英寸直径 x 508 微米n- Si:As[111]0.002-0.005市盈率19±1.3
54.5±3.6
n- 硅:P
n- 硅:P
25±5
4.4
不 / 否 / 否+
E4_6894 英寸直径 x 380 微米n- Si:As[111]0.001-0.005P/EOx20n- 硅:磷270 ±10%不 / N+
E4_9084 英寸直径 x 400 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率20n- 硅:磷0.09 ±10%不 / N+
E4_10254 英寸直径 x 400 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率20n- 硅:磷90±10%不 / N+
E4_8994 英寸直径 x 400 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率20n- 硅:磷0.07 ±10%不 / N+
E4_9194 英寸直径 x 400 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率20n- 硅:磷0.13 ±10%不 / N+
E4_92114 英寸直径 x 400 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率20n- 硅:磷0.15 ±10%不 / N+
E4_9374 英寸直径 x 400 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率20n- 硅:磷0.19 ±10%不 / N+
E4_3074 英寸直径 x 525 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率20n- 硅:磷65 ±10%不 / N+
E4_11654 英寸直径 x 525 微米n- Si:As[111]0.0010-0.0035市盈率20
10
n- 硅:P
n- 硅:P
7±10%
2±0.4
不 / 否 / 否+
E4_6984 英寸直径 x 380 微米n- Si:As[111]0.001-0.005P/EOx21n- 硅:磷150 ±10%不 / N+
E4_117114 英寸直径 x 525 微米n- Si:As[111]0.0010-0.0035市盈率22.5
28.5
n- 硅:P
n- 硅:P
12±10%
2±10%
不 / 否 / 否+
E4_12994 英寸直径 x 525 微米n- Si:As[111]0.0010-0.0035市盈率26
11
n- 硅:P
n- 硅:P
18±10%
2±10%
不 / 否 / 否+
E4_5494 英寸直径 x 525 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率27n- 硅:磷220 ±10%不 / N+
E4_52154 英寸直径 x 525 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率27.5n- 硅:磷>250不 / N+
E4_5394 英寸直径 x 525 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率28n- 硅:磷165 ±10%不 / N+
E4_125144 英寸直径 x 525 微米n- Si:As[111]0.0010-0.0035市盈率票价
28 8 – 12
n- 硅:P
n- 硅:P
11±10%
1 – 3
不 / 否 / 否+
E4_120194 英寸直径 x 525 微米n- Si:As[111]0.0010-0.0035市盈率28
9 – 11
n- 硅:P
n- 硅:P
8 – 11
1 – 3
不 / 否 / 否+
E4_111204 英寸直径 x 525 微米n- Si:As[111]0.0010-0.0035市盈率30
15
5 元
n- 硅:P
n- 硅:P
n- 硅:P
11±10%
4±10%
1.5±10%
N/N/N/N+
E4_123104 英寸直径 x 525 微米n- Si:As[111]0.0010-0.0035市盈率39.5
12
n- 硅:P
n- 硅:P
29±10%
4±10%
不 / 否 / 否+
E4_81204 英寸直径 x 380 微米n- Si:As[111]0.004-0.008P/EOx41.5n- 硅:磷>300 ±10%不 / N+
E4_77184 英寸直径 x 380 微米n- Si:As[111]0.004-0.008P/EOx41.5n- 硅:磷>200不 / N+
E4_1724 英寸直径 x 380 微米n- Si:As[111]0.004-0.008P/EOx43n- 硅:磷600 ±10%不 / N+
E4_7984 英寸直径 x 380 微米n- Si:As[111]0.004-0.008P/EOx43n- 硅:磷>200不 / N+
E4_1614 英寸直径 x 380 微米n- Si:As[111]0.004-0.008P/EOx43n- 硅:磷340 ±10%不 / N+
E4_11564 英寸直径 x 525 微米n- Si:As[111]0.0010-0.0035市盈率50
15 元
n- 硅:P
n- 硅:P
36±4
5.4±0.7
不 / 否 / 否+
E4_24104 英寸直径 x 525 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率75n- 硅:磷66 ±10%不 / N+
E4_5994 英寸直径 x 525 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率78n- 硅:磷25 ±10%不 / N+
E4_5154 英寸直径 x 525 微米n- Si:As[111]0.001-0.005P/EOx78n- 硅:磷20 ±10%不 / N+
E4_9454 英寸直径 x 525 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率80n- 硅:磷17.5 ±10%不 / N+
E4_11244 英寸直径 x 525 微米n- Si:As[111]0.0010-0.0035市盈率80
10 元
n- 硅:P
n- 硅:P
60±10%
2±1
不 / 否 / 否+
E4_14674 英寸直径 x 525 微米n- Si:As[111]0.0010-0.0035市盈率80
10 元
n- 硅:P
n- 硅:P
70±10%
2±1
不 / 否 / 否+
E4_13784 英寸直径 x 525 微米n- 硅:锑[111]0.008-0.020市盈率22.5
15
p- 硅:B
n- 硅:P
票价 15±10%
6±0.9
P/N/N+
E4_13674 英寸直径 x 525 微米n- 硅:锑[111]0.008-0.020市盈率38
18
p- 硅:B
n- 硅:P
票价 55±10%
10±10%
P/N/N+
E4_944 英寸直径 x 525 微米n- 硅:锑[111]0.005-0.020市盈率14n- 硅:磷4.25 ±10%不 / N+
E4_5544 英寸直径 x 525 微米n- 硅:锑[111]0.005-0.020市盈率15n- 硅:磷90 ±10%不 / N+
E4_27104 英寸直径 x 525 微米n- 硅:锑[111]0.005-0.020市盈率18n- 硅:磷0.25 ±10%不 / N+
E4_5664 英寸直径 x 400 微米n- 硅:锑[111]0.005-0.020市盈率20n- 硅:磷75 ±10%不 / N+
E4_5784 英寸直径 x 400 微米n- 硅:锑[111]0.005-0.020市盈率20n- 硅:磷136 ±10%不 / N+
E4_5834 英寸直径 x 400 微米n- 硅:锑[111]0.005-0.020市盈率20n- 硅:磷101 ±10%不 / N+
E4_9854 英寸直径 x 400 微米n- 硅:锑[111]0.006-0.020市盈率20n- 硅:磷300±10%不 / N+
E4_9794 英寸直径 x 400 微米n- 硅:锑[111]0.006-0.020市盈率21n- 硅:磷400±10%不 / N+
E4_100154 英寸直径 x 525 微米n- 硅:锑[111]0.005-0.020市盈率22.5n- 硅:磷12.5±10%不 / N+
E4_2164 英寸直径 x 400 微米n- 硅:锑[111]0.005-0.020市盈率25n- 硅:磷0.08 ±10%不 / N+
E4_1424 英寸直径 x 400 微米n- 硅:锑[111]0.005-0.020市盈率25n- 硅:磷0.04 ±10%不 / N+
E4_6654 英寸直径 x 360 微米n- 硅:锑[111]0.005-0.020市盈率37.5n- 硅:磷270 ±10%不 / N+
E4_95104 英寸直径 x 400 微米n- 硅:锑[111]0.006-0.020市盈率37.5n- 硅:磷85±10%不 / N+
E4_13844 英寸直径 x 525 微米n- 硅:锑[111]0.008-0.020市盈率票价 58
15
5
n- 硅:P
n- 硅:P
n- 硅:P
60±10%
8±10%
3±10%
N/N/N/N+
E4_14894 英寸直径 x 460 微米n- 硅:锑[111]0.007-0.020市盈率60
20 元
n- 硅:P
n- 硅:P
票价 40.5±4.5
10±2
不 / 否 / 否+
E4_6094 英寸直径 x 525 微米n- 硅:锑[111]0.005-0.020市盈率60n- 硅:磷60 ±10%不 / N+
E4_12104 英寸直径 x 525 微米n- 硅:锑[111]0.005-0.020市盈率60n- 硅:磷58.75 ±10%不 / N+
E4_1964 英寸直径 x 525 微米n- 硅:锑[111]0.005-0.020市盈率70n- 硅:磷60 ±10%不 / N+
E4_6194 英寸直径 x 525 微米n- 硅:锑[111]0.005-0.020市盈率75n- 硅:磷125 ±10%不 / N+
E4_4464 英寸直径 x 525 微米n- 硅:锑[111]0.005-0.020市盈率100n- 硅:磷420±10%不 / N+

3“ 外延硅片

项目库存数量酶作用物EPI评论
大小类型分辨率 Ωcm冲浪。厚 μm类型分辨率 Ωcm
K827 系列43 英寸直径 x 508 微米p- 硅:B[111]0.008-0.020市盈率12.5
140±10
p- 硅:B
n- 硅:P
2.35
33.60
p+
8611503 英寸直径 x 381 微米n- 硅:砷[111-4°]0.001-0.005市盈率5.5n- 硅:磷0.31 – 0.33不 / n+
F667 系列1203 英寸直径 x 525 微米n- 硅:磷[111]0.001-0.005市盈率4.5n- 硅:磷1.1 – 1.4n/n+,密封在 24 片晶圆的包埋盒中
E3_32183 英寸直径 x 381 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率5.5n- 硅:磷1,06±10%不 / N+
E3_4053 英寸直径 x 381 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率11n- 硅:磷17,5±10%不 / N+
E3_293 英寸直径 x 381 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率12n- 硅:磷16±10%不 / N+
E3_5483 英寸直径 x 381 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率12n- 硅:磷2.1±10%不 / N+
E3_55123 英寸直径 x 381 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率12n- 硅:磷1.7±10%不 / N+
E3_24183 英寸直径 x 381 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率12n- 硅:磷1.3±10%不 / N+
E3_38153 英寸直径 x 381 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率12n- 硅:磷1.3±10%不 / N+
E3_62143 英寸直径 x 381 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率12n- 硅:磷1.8±10%不 / N+
E3_30153 英寸直径 x 381 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率13n- 硅:磷1.35±10%不 / N+
E3_4893 英寸直径 x 381 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率15.5n- 硅:磷9.5±10%不 / N+
E3_22123 英寸直径 x 381 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率15.5n- 硅:磷9.5±10%不 / N+
E3_4243 英寸直径 x 381 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率18n- 硅:磷0.05±10%不 / N+
E3_3203 英寸直径 x 381 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率22n- 硅:磷4,8±10%不 / N+
E3_5183 英寸直径 x 381 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率22n- 硅:磷4±10%不 / N+
E3_2753 英寸直径 x 381 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率22n- 硅:磷4±10%不 / N+
E3_63203 英寸直径 x 381 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率28n- 硅:磷16,5±10%不 / N+
E3_1763 英寸直径 x 381 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率28.5n- 硅:磷4±10%不 / N+
E3_2593 英寸直径 x 381 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率28.5n- 硅:磷20±10%不 / N+
E3_5383 英寸直径 x 381 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率30n- 硅:磷4.5±10%不 / N+
E3_15153 英寸直径 x 355 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率34n- 硅:磷9.5±10%不 / N+
E3_16153 英寸直径 x 355 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率34n- 硅:磷12±10%不 / N+
E3_5183 英寸直径 x 355 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率34n- 硅:磷11±10%不 / N+
E3_493 英寸直径 x 355 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率36n- 硅:磷4±10%不 / N+
E3_2353 英寸直径 x 381 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率37.5n- 硅:磷0.6±10%不 / N+
E3_1203 英寸直径 x 381 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率41n- 硅:磷25±10%不 / N+
E3_4193 英寸直径 x 381 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率42n- 硅:磷20,5±10%不 / N+
E3_19183 英寸直径 x 381 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率42.5n- 硅:磷17±10%不 / N+
E3_1483 英寸直径 x 355 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率52.5n- 硅:磷12.5±10%不 / N+
E3_56193 英寸直径 x 381 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率56n- 硅:磷12±10%不 / N+
E3_4583 英寸直径 x 508 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率70n- 硅:磷73±10%不 / N+
E3_33103 英寸直径 x 508 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率72n- 硅:磷12.5±10%不 / N+
E3_7193 英寸直径 x 508 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率73n- 硅:磷84±10%不 / N+
E3_4483 英寸直径 x 508 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率75n- 硅:磷13±10%不 / N+
E3_49183 英寸直径 x 508 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率75n- 硅:磷11±10%不 / N+
E3_1283 英寸直径 x 508 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率80n- 硅:磷12±10%不 / N+
E3_10153 英寸直径 x 375 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率85n- 硅:磷22.5 ±10%不 / N+
E3_34103 英寸直径 x 508 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率85n- 硅:磷19.5±10%不 / N+
E3_20203 英寸直径 x 508 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率85n- 硅:磷66±10%不 / N+
E3_59183 英寸直径 x 508 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率90
18 元
n- 硅:P
n- 硅:P
41±10%
5±10%
不 / 否 / 否+
E3_43183 英寸直径 x 508 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率96n- 硅:磷30±10%不 / N+
E3_11193 英寸直径 x 508 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率100n- 硅:磷16 ±10%不 / N+
E3_1323 英寸直径 x 508 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率100n- 硅:磷12±10%不 / N+
E3_21103 英寸直径 x 508 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率100n- 硅:磷20±10%不 / N+
E3_853 英寸直径 x 508 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率100n- 硅:磷21±10%不 / N+
E3_37143 英寸直径 x 508 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率135n- 硅:磷35±10%不 / N+
E3_3943 英寸直径 x 508 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率140n- 硅:磷31±10%不 / N+
E3_29103 英寸直径 x 508 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率145n- 硅:磷38±10%不 / N+
E3_26183 英寸直径 x 508 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率145n- 硅:磷25±10%不 / N+
E3_933 英寸直径 x 508 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率150n- 硅:磷44±10%不 / N+
E3_28153 英寸直径 x 508 微米n- Si:As[111]0.001-0.005市盈率158n- 硅:磷67±10%不 / N+
E3_31103 英寸直径 x 381 微米n- 硅:锑[111]0.005-0.020市盈率8n- 硅:磷0.63±10%不 / N+
E3_35153 英寸直径 x 381 微米n- 硅:锑[111]0.005-0.020市盈率22.5n- 硅:磷0.07±10%不 / N+
E3_6123 英寸直径 x 381 微米n- 硅:锑[111]0.005-0.020市盈率30n- 硅:磷6.75±10%不 / N+
E3_64103 英寸直径 x 330 微米n- 硅:锑[111]0.005-0.018市盈率75
25 元
n- 硅:P
n- 硅:P
40±10%
2.5±10%
不 / 否 / 否+

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