
密封类型:钎焊(Braze)
最高温度:CF版本:200°C;KF和ISO版本:150°C
最低温度:-20°C
最大温度变化速率:每分钟3°C
漏率:<1×10⁻¹⁰ mbar·L/s(氦检)
压力范围:1 bar 至 1×10⁻¹¹ mbar
表面质量:20/10 划痕/麻点(scratch/dig)
平行度:< 3 角分
平面度:见下表
激光损伤阈值:
- 连续波(CW):530 nm 时 500 W/cm²
- 脉冲激光:530 nm、10 ns脉宽时 2 J/cm²
(注:具体数值会随波长、脉宽、激光类型及光学元件洁净度而变化)
TSL真空视窗UV级法兰视窗钎焊熔融石英零长度观察窗法兰材料:
- CF版本:304L、316LN
- KF和ISO版本:304L
我们的UV级熔融石英零长度观察窗提供 Conflat®(CF)、ISO 和 KF 法兰形式。观察窗采用高纯度、激光级熔融石英光学窗口,具有精确的平面度、平行度以及划痕/麻点指标。超高真空(UHV)CF版本可选304L或316LN不锈钢以及2级钛法兰。
对于低能量应用或需要低磁场环境的表面科学应用,还提供非磁性观察窗。该非磁性版本采用非磁性焊环替代常规Kovar焊环。高真空KF和ISO观察窗则采用304L不锈钢法兰。
TSL观察窗在洁净室条件下制造,并按照UHV标准进行氦检、清洗和包装。熔融石英观察窗的结构允许反复烘烤,同时保持UHV性能;窗口材料可实现从深紫外、可见光到近红外范围的宽带光学透过。
UV级熔融石英零长度观察窗还可提供多种增透镀膜,以满足客户对反射率的要求。相关镀膜由TSL加工,并作为选项列于“增透镀膜”页面中。
此外,还可提供针对客户指定激光波长优化的VAR、BBAR和AR镀膜激光观察窗,可将每个表面的反射率降低至0.5%以下。
还可按要求定制非标准观察窗,包括插入式(entrant)和回入式(re-entrant)显微镜/相机观察窗。
TSL还提供退火铜垫片及其他相关配件。
钎焊工艺会在光学窗口与金属载体之间产生应力,这会导致光学元件发生形变,从而使钎焊前的平面度在钎焊后有所下降。
不过,这种平面度下降对透射波前误差的影响并不显著。
| TSL命名 | 其他常见命名 |
|---|---|
| CF | DN、ICF |
| KF | ISO-KF、NW、QF |
| ISO | LF、LFB、MF |
熔融石英透射曲线(Fused Silica Transmission Curve)
