德国Tichawa Vision VUCIS系列 使用接触式图像传感器进行晶圆检测

VUCIS（VARI Universal CIS）是对原 VTCIS 技术的迭代升级，注入了更强的可定制性和功能灵活性：

• 支持 16 种不同照明几何结构（illumination geometries）

• 提供 10 种照明颜色 可选，包括 RGB、IR、UV 等多种选项

• 可搭载 8 种不同光学透镜系统，支持长焦与短焦配置，适应不同成像需求

此外，VUCIS 拥有智能高速照明控制器，支持用户自定义照明时序和颜色混合策略，如同时进行前照与反射照明以抑制水印等

在半导体生产中，光学晶圆检测对于生产质量完美的微芯片起着至关重要的作用。除其他外，光学系统用于检测划痕、缺陷或颗粒。

对用于此目的的相机系统的要求非常苛刻。需要高分辨率才能看到微米范围内的小缺陷，需要特殊的照明，因为材料通常非常有光泽，处理速度高，并且由于晶圆的表面光洁度变化很大，因此需要多个校准数据。很多时候，空间不足也是一个问题，因为检测系统要安装在现有系统中。

Tichawa Vision 开发了一种专门用于晶圆检测的接触式图像传感器：该传感器的分辨率为 1200dpi，同轴照明，在仅 110mm 的高度下进行无缝图像采集。存储和检索多个校准数据集可以在不同的晶圆类型之间快速切换。