RGA100,RGA200,RGA300 残余气体分析仪
Residual Gas Analyzer
RGA100 series — 100, 200, and 300 amu analyzers
RGA100系列残余气体分析仪主要特征:
- 100、200和300 amu系统
- 分辨率优于1 amu
- 6个数量级的动态
单次扫描的范围 - 5 x 10-14托检测极限
- RGA视窗软件
- RS-232和以太网接口
RGA100系列残余气体分析仪
SRS的100、200和300 amu残余气体分析仪提供卓越的性能和价值。这些RGA提供详细的真空系统气体分析,价格约为竞争机型的一半。每个RGA系统都配有一个四极杆探头、电子控制单元(ECU)和一个用于数据采集和分析以及探头控制的实时Windows软件包。
坚固的探头设计
探针由离子发生器、四极滤质器和检测器组成。简单的设计有少量的零件,最大限度地减少排气,并减少将杂质引入真空系统的机会。探头组件坚固耐用,安装在标准2英寸CF法兰。除了离子发生器之外,它被不锈钢管覆盖,离子发生器在真空系统中只需要2英寸的间隙——大约是标准离子规的间隙。探头采用自动校准部件设计,因此在清洁后可以很容易地重新组装。
紧凑型电子控制单元
密集包装的ECU包含控制RGA头所需的所有电子设备。它由外部+24 VDC (2.5 A)电源或插入交流电源插座的可选内置电源模块供电。LED指示器提供关于电子倍增器、灯丝、电子系统和探针状态的即时反馈。对于高温烘烤,ECU可以很容易地从探头上拆下。
独特的灯丝设计
一种长寿命双钍铱合金(ThO2/Ir)灯丝用于电子发射。双重ThO2/Ir灯丝比单根灯丝耐用得多,最大限度地延长了更换灯丝的时间。与其他设计不同,用户可以在几分钟内更换SRS灯丝。
电子倍增器
法拉第杯检测器是SRS RGA系统的标准配置,可以测量以下部分压力10-5到5 × 10-11托。为了提高灵敏度和更快的扫描速度,提供了一个可选的电子倍增器,可检测低至5 × 10-14托. 这种最先进的宏多通道连续倍增电极电子倍增器(CDEM)提供了更长的寿命和稳定性,也可以由用户更换-这是RGAs的第一次!
加热器护套
O100HJRW加热器护套配有沃特世EHG SL10过程控制器,可提供210℃(±3 ℃)的预编程温度。加热器护套采用聚四氟乙烯(Teflon)结构制成,由于其低排气和无颗粒运行,适用于洁净室应用。O100HJRW提供120 VAC和220 VAC版本,并附带目的地国家的电源线。
有用的功能
所有rga都有内置脱气功能。使用电子碰撞解吸,离子源被彻底清洁,大大降低了离子发生器对背景噪音的影响。
固件驱动的灯丝保护功能持续监控(675 Hz)过压。如果检测到过压,灯丝会立即关闭,从而保护其寿命。
独特的温度补偿对数静电计检测来自10-7到10-15安培数精度优于2 %的单次扫描。这种巨大的动态范围意味着您可以同时测量小气体浓度和大气体浓度。
完全可编程
与计算机的通信是通过RS-232界面。模拟和直方图(条)扫描、泄漏检测和探头参数都通过高级命令集进行控制和监控。这允许容易地集成到现有程序中。
RGA视窗软件
RGA系统由运行在Windows操作系统计算机上的实时软件包支持。直观的图形用户界面允许快速、轻松地进行测量。实时捕获和显示数据,或计划以给定的时间间隔采集数据,用于长期数据记录。可以在一个序列中收集多个光谱数据和单个测量值。多功能停靠窗口和窗口部件为用户提供了多种组织显示的方式。数据可以手动或自动缩放,以线性或对数格式绘制在图上。单位可在托、巴、帕斯卡和安培之间选择。功能包括普通气体标签、可编程音频和视频警报、可扩展库、成分分析和全面的在线帮助。
该软件还允许通过简单的质量标度调谐、灵敏度校准、离子发生器设置和电子倍增器增益调整来完成RGA控制。为了进一步分析,数据文件可以保存为CSV文本格式,以便于转换为电子表格。图形图像可以保存为常见格式(PNG,BMP,TIFF,JPG,SVG,PDF)或复制到剪贴板直接导入到其他程序。
可选的独立显示器(PPM100 RGA监控器和控制器)可用于控制RGA,无需主机。
多头操作
当需要多个RGA时,软件支持多头操作。利用独立控制RGA软件实例,多个RGA可以被控制并与多个软件实例同时运行。rga的数量仅受系统资源的限制。
性能和价值
RGAs的SRS系列是气体分析、泄漏检测和真空处理应用的理想选择。我们提供100、200和300 amu系统,支持Windows软件和选项,包括电子倍增器和用于交流线路操作的内置电源模块。