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通用气体分析仪
UGA 系列 — 最高可达 300 amu 的气体分析仪，适用于大气压力到超高真空 (UHV)
- 100, 200 和 300 amu 系统
- 快速响应时间
- Windows 软件
- 独立泄漏检测
- 电子倍增器
- 可测量高达 100% H₂（UGA-Hydrogen 选项）
概述
UGA 和 ULT 系列通用气体分析仪是先进的台式质谱仪，工作范围从大气压力到超高真空 (UHV)。它们非常适合在线监测和分析气体混合物。无论是测量微量污染物、溶剂、烃类、制冷剂还是腐蚀性气体，您的通用气体分析仪都能胜任。
- UGA 系列—理想用于腐蚀性气体
- UGA-Hydrogen 系列（UGA 配置选项 3）—理想用于高浓度 H₂
- ULT 系列—低成本解决方案（起价 $28,000）
UGA 和 ULT 系列通用气体分析仪是先进的台式质谱仪，适用于从大气压力到超高真空 (UHV) 的工作范围。它们非常适合在线监测和分析气体混合物。无论是测量微量污染物、溶剂、烃类、制冷剂还是腐蚀性气体，您的通用气体分析仪都能满足需求。
UGA 的应用包括半导体废气监测、手套箱分析、燃料电池研究、氟利昂检测、污染监测、发酵研究以及一般的研发真空分析。
这些分析仪操作和维护简单。机箱设计允许仪器垂直或水平操作，支持前面板和计算机操作。ULT 系列是简化设计，适用于要求较低的应用。
操作原理
UGA 系统使用两级压力降低入口以采样大气压力下的气体。压力降低到约 10⁻⁶ Torr 后，气体流被送到质谱仪（残余气体分析仪—RGA），测量每种感兴趣质量的浓度。
UGA Windows 软件提供了图形用户界面，用于复杂的图形绘制和数据分析。软件还允许远程控制系统的阀门、加热器和泵。
对于 10⁻¹ 到 10⁻⁴ Torr 范围的气体采样，使用真空入口组件。只需将 2 ¾” CF 转接到 ¼” 管适配器连接到 CF 端口，并调整管的长度以适应入口压力。
对于超高真空 (UHV) 应用（<10⁻⁴ Torr），可以直接接入 RGA。真空入口组件的任何 2 ¾” CF 端口都可以用来连接到您的真空室。
多毛细管入口（仅 UG 系列）
可选的多端口采样入口包含 16 个安装在歧管上的阀门，可与各种毛细管一起使用。
加热室（仅 UG 系列）
UGA 系统配备了用于真空室（包括 RGA）、涡轮泵连接器和真空入口组件的独立加热器。在烘烤过程中，系统可加热至 120 °C。
双隔膜泵（仅 UG 系列）
使用单独的隔膜泵处理旁路流量和涡轮泵的背压。这种结构允许分析腐蚀性气体（如氯、氟等）而不会损坏 RGA 和涡轮泵，并几乎消除了回流问题。测量低质量气体（如氢、氦等）的高浓度也不再是问题。
涡轮泵排气（UGA 和 ULT 系列）
可选的阀门和涡轮泵排气入口适用于希望用干氮（或其他惰性气体）排气的用户。这可以保持泵不受空气中水分和其他污染物的影响。
软件系统控制
UGA 系统可以通过前面板或计算机进行控制。提供手动或自动控制所有系统组件的选项。
使用 UGA 软件进行数据测量和显示。直观的用户界面使测量变得快速而简单。数据可以实时捕获和显示，或根据设定时间进行采集。
功能包括模拟和直方图扫描模式、压力与时间图、泄漏检测、气体库和在线帮助。
RGA 参数也可以通过高级 ASCII 命令集进行控制和监测。标准的 RS-232 和以太网接口用于与 PC 的数据连接。
模拟模式
UGA 分析仪提供了市场上最具性价比的系统。它们提供更多性能、更好的功能，并且价格远低于竞争对手
UGA 系列规格
入口（UGA 系列）*
- 类型：不锈钢和 PEEK 毛细管，两个额外的 2-3/4″ CF 端口
- 流量：1 至 10 毫升每分钟（大气压力下）
- 压力：约 10⁻⁴ mbar 至几 bar（取决于连接端口和毛细管）
质谱仪
- 类型：四极杆（RGA）
- 探测器：法拉第杯和电子倍增器
- 范围：100、200 或 300 原子质量单位（amu）
- 分辨率：在峰值高度的 10% 时优于 0.5 amu
- 检测限：低于 1 ppm
- 操作压力：5 × 10⁻⁶ mbar
连接（UGA 系列）*
- 样品入口：
- 1 mbar 至 1 bar：1/8″ Ultra-Torr® 配件
- 10⁻¹ 至 10⁻⁴ mbar：2-3/4″ CF 法兰端口
- <10⁻⁴ mbar：2-3/4″ CF 法兰端口
- 计算机接口：RS-232, 以太网
UGA 软件
- 软件：Windows 应用程序，控制 UGA 系统，包括 RGA。
系统
- 高真空泵：混合涡轮分子泵
- 隔膜泵：先进低压泵
材料
- 结构：SS304 和 SS316
- 绝缘材料：铝土矿，陶瓷
- 密封材料：Viton®、buna-N 和氰化丁二烯橡胶，铜垫片
- 其他：铝，Tygon®
一般
- 启动时间：从完全停止到启动需要 8 分钟
- 最大环境温度：35 °C
- 烘烤温度：120 °C（受控加热器，仅 UG 系列）
- 电源要求：720 W，85 至 264 VAC 或 120 至 370 VDC，47 至 63 Hz
- 尺寸：12″ × 11″ × 27″（宽 × 高 × 长）
- 重量：UGA 85 磅，ULT 75 磅
- 保修：材料或工艺缺陷一年保修。泵密封和隔膜保修 90 天
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