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残余气体分析仪
- 100、200和300 amu系统
- 优于1 amu分辨率
- 单次扫描动态范围高达6个数量级
- 检测极限为5 x 10^-14 Torr
- RGA Windows软件
- RS-232和以太网接口
概述
SRS的100、200和300 amu残余气体分析仪提供卓越的性能和价值。这些RGA以约一半的价格提供详细的真空系统气体分析。每个RGA系统包括一个四极探头、电子控制单元（ECU）和一个实时Windows软件包，用于数据采集、分析和探头控制。
坚固的探头设计
电子倍增器
探头由电离器、四极质谱过滤器和检测器组成。简洁的设计使零部件数量较少，从而减少气体释出并降低将杂质引入真空系统的几率。探头组件坚固，安装在标准的2 ¾英寸CF法兰上，除了电离器需要在真空系统中留出2 ½英寸的间隙外，其余部分均覆盖在不锈钢管内，约为标准离子计的间隙。探头采用自对准部件设计，清洁后可以轻松重新组装。
紧凑的电子控制单元
紧凑的ECU包含了控制RGA头所需的所有电子设备。它可以由外部+24 VDC（2.5 A）电源供电，也可以由一个可选的内置电源模块供电，插入AC插座即可。LED指示灯提供关于电子倍增器、灯丝、电子系统和探头状态的即时反馈。ECU可以从探头上轻松拆卸，以便进行高温烘烤。
独特的灯丝设计
采用长寿命双钍铱（ThO2/Ir）灯丝用于电子发射。双ThO2/Ir灯丝的寿命远长于单灯丝，最大化灯丝更换之间的时间。与其他设计不同，SRS的灯丝可以由用户在几分钟内更换。
电子倍增器
SRS RGA系统标配Faraday杯探测器，可以测量从10^-5到5 × 10^-11 Torr的分压。为了提高灵敏度和扫描速度，还提供了可选的电子倍增器，可以检测到5 × 10^-14 Torr的分压。这种最先进的宏多通道连续电动二极管（CDEM）电子倍增器提供了更长的使用寿命和稳定性，并且可以由用户更换——这是RGA领域的首次！
加热夹套
O100HJRW加热夹套配备了Watlow EHG SL10过程控制器，提供预设的210°C（±3°C）温度。加热夹套采用PTFE（特氟龙）材料制造，适用于洁净室应用，因为其低气体释出和无颗粒操作。O100HJRW提供120 VAC和220 VAC版本，并附带目的地国家的电源线。
有用的功能
所有RGA都具有内置的脱气功能。通过电子碰撞解吸，离子源得到彻底清洁，大大减少了电离器对背景噪声的贡献。
固件驱动的灯丝保护功能持续监测（675 Hz）过压情况。如果检测到过压，灯丝会立即关闭，从而延长其使用寿命。
独特的温度补偿对数电流计在单次扫描中可以以优于2%的精度检测从10^-7到10^-15安培的离子电流。这个巨大的动态范围意味着可以同时测量小和大气体浓度。
完整的可编程性
通过RS-232接口与计算机通信。模拟和直方图（条形图）扫描、泄漏检测和探头参数均通过高级命令集进行控制和监控。这使得与现有程序的集成变得简单。
RGA Windows软件
RGA系统配有在Windows操作系统上运行的实时软件包。直观的图形用户界面允许快速、轻松地进行测量。数据可以实时捕获和显示，也可以按照指定的时间间隔进行长期数据记录。多个光谱数据和单独的测量可以在一个序列中一起收集。多功能的停靠窗口和小部件为用户提供了多种显示方式。数据可以手动或自动缩放，以线性或对数格式显示在图表上。单位可选择Torr、Bar、Pascal和Amp。功能包括常见气体标签、可编程音频和视觉警报、可扩展的库、成分分析以及全面的在线帮助。
软件还允许完全控制RGA，轻松调整质量范围、灵敏度校准、离子源设置和电子倍增器增益调整。为了进一步分析，数据文件可以保存为CSV文本格式，便于导入到电子表格中。图形图像可以保存为常见格式（PNG、BMP、TIFF、JPG、SVG、PDF）或复制到剪贴板中，直接导入到其他程序中。
模拟模式
一个可选的独立监视器（PPM100 RGA监视器与控制器）可以在没有主计算机的情况下控制RGA。
多头操作
软件支持多个头的操作，当需要多个RGA时，可以通过多个软件实例独立控制每个RGA。多个RGA可以同时运行，数量仅受系统资源的限制。
性能和价值
SRS系列RGA非常适合气体分析、泄漏检测和真空处理等应用。我们提供100、200和300 amu系统，配备支持Windows的软件以及电子倍增器和内置电源模块等选项。
RGA100系列规格
操作
- 质量范围
- RGA100：1到100 amu
- RGA200：1到200 amu
- RGA300：1到300 amu
- 质量过滤器类型：四极杆
- 检测器类型：标准Faraday杯 — 电子倍增器 — 可选
- 分辨率：优于0.5 amu @ 10%峰高（符合AVS标准2.3）。在整个质量范围内调整为恒定峰宽。
- 灵敏度（A/Torr）：2 × 10^-4（FC），<200（EM）。在高电压范围内用户可调。测量使用N2 @ 28 amu，1 amu全峰宽，10%高度，70 eV电子能量，12 eV离子能量和1 mA电子发射电流。
- 最小可检测分压：5 × 10^-11 Torr（FC）。5 × 10^-14 Torr（EM）。测量使用N2 @ 28 amu，1 amu全峰宽，10%高度，70 eV电子能量，12 eV离子能量和1 mA电子发射电流。
- 操作压力：10^-4 Torr到UHV（FC）; 10^-6 Torr到UHV（EM）
- 最大操作温度：70°C
- 烘烤温度：300°C（不带ECU）
离子源
- 设计：开放离子源，圆柱对称，电子碰撞电离。
- 材料：SS304结构
- 灯丝：钍铱（双）带固件保护。内置1到10 W脱气升温。现场可更换。
- 电子能量：25到105 V，可编程
- 离子能量：8或12 V，可编程
- 聚焦电压：0到150 V，可编程
- 电子发射电流：0到3.5 mA，可编程
一般
- 探头尺寸：从法兰面到离子源顶部8.75英寸
- 探头插入长度：2.0英寸
- 探头安装法兰：2.75英寸CF
- 最小管内径：1.375英寸
- ECU尺寸：9.1″ × 4.1″ × 3.1″（WHL）
- 可以轻松从探头上拆卸进行烘烤。
- LED指示灯：电源开/关，灯丝开/关，脱气开/关，电子倍增器开/关，RS-232忙，错误，过压，烧坏灯丝。
- 预热时间：质量稳定性±0.1 amu，30分钟后
- 计算机接口：RS-232C，28,800 波特率，高级命令集
软件：基于Windows的应用程序
电源要求：24 VDC @ 2.5 安培。可选内置VAC适配器。
重量：6磅
保修：一年，涵盖材料和工艺缺陷的零件和人工
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