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高压气体分析仪
QMS 系列 — 高达 300 amu 的气体分析仪，100、200 或 300 amu 系统
- 压力范围：从 10 mbar 到 1 bar
- 分辨率：优于 1 amu
- 响应时间：小于 0.5 秒
- 紧凑、可运输设计
- 6 个动态范围的量程
- RGA Windows 软件
- RS-232 接口
概述
QMS 系列气体分析仪提供了高效、成本效益高的解决方案，适用于各种应用。这些质谱仪简化了在线过程监控、气体种类分析、泄漏检测和故障排除的任务。QMS 系统可以持续采样气体，流速可达几毫升每分钟。入口可以配置为在 1 bar 到 10 mbar 的压力下进行采样。数据是连续获取的，而不是像气相色谱仪那样采用批量采样。
QMS 系列大气压气体分析仪
QMS 系列气体分析仪提供了高效且具有成本效益的解决方案，适用于广泛的应用。这些质谱仪简化了在线过程监控、气体种类分析、泄漏检测和故障排除的任务。
在线监控
QMS 系统能够以每分钟几毫升的流速连续采样气体。入口可以配置为在 1 bar 到 10 mbar 的压力下进行采样。数据是连续获取的，与采用批量采样的气相色谱仪不同。QMS 的响应时间非常快，低于 0.5 秒。完整的光谱可以在几秒钟内记录，单个质量可以以每秒最多 25 点的速率进行测量。
紧凑、用户友好的设计
一种先进的四极杆质谱仪设计，结合了最先进的泵送技术，使整个系统集成在一个小巧、便于运输的包中。采样入口阀和泵可以从前面板控制。操作简单，不需要详细了解四极杆或压力降低入口。由于泵内没有油或其他液体，因此重力对其没有影响，这使得设备可以直立或侧放工作。毛细管用作采样探针，提供多种材料和尺寸以满足不同应用需求。
工作原理
QMS 使用两级压力降低入口来在高压下采样气体。这使得可以使用在高真空下运行的残余气体分析仪（RGA）作为探测器。不同的毛细管允许系统在更高或更低的压力下进行采样。通过毛细管抽取大量气体，将压力降低三个数量级。一个混合涡轮分子泵/拖曳泵通过一个孔抽取少量气体，将压力降低到约 10⁻⁶ Torr，同时大部分气流被直接旁通到隔膜泵。电磁阀控制气体流动。整个系统由微处理器控制，以确保泵和阀门的正确操作。软件管理质谱仪，并以六种不同模式获取数据。一个可选的高真空 2.75″ CF 端口提供了直接访问 RGA 的途径。
旁通流配置
旁通流和样品流在隔膜泵处重新合并，这使得只需使用一个备份泵。这有助于系统的小型化。旁通流配置对于 QMS 的快速响应时间也至关重要。单级压力降低与泄漏阀会导致非常小的流量和不合理的采样时间。另一方面，旁通流配置使从毛细管尖端到 RGA 室的响应时间低于 0.5 秒。
Windows 软件
QMS 系统配备了一个运行在 PC 上的 Windows 软件包。直观的图形用户界面使得测量变得快速且容易。数据可以实时捕获和显示，或按预定时间间隔进行采集。功能包括模拟和直方图扫描模式、压力与时间图、泄漏检测、警报模式、气体库、音频和视觉报警以及全面的在线帮助。探针参数也可以通过高级 ASCII 命令集进行控制和监控，从而便于与用户控制程序集成。标准的 RS-232 接口用于与主计算机的数据链接。还提供 LabVIEW 驱动程序
QMS 系列规格
入口
- 类型：可提供不锈钢和 PEEK 材质的毛细管
- 流速：在大气压下为每分钟 1 到 10 毫升
- 压力：10 mbar 至大于 1 bar（取决于毛细管）
质谱仪
- 类型：四极杆
- 探测器：法拉第杯和电子倍增器
- 范围：100、200 或 300 原子质量单位（amu）
- 分辨率：在峰值高度的 10% 处优于 0.5 amu
- 检测限：低于 1 ppm
- 操作压力：5 × 10⁻⁶ mbar
连接
- 入口：1/4″ Ultra-Torr® 配件
- 计算机接口：RS-232C，28800 波特率，DB9 连接器
- 软件：RGA Windows 应用程序
系统
- 高真空泵：混合涡轮分子泵
- 隔膜泵：先进的低压泵
材料
- 结构：SS304 和 SS316
- 绝缘体：铝土矿、陶瓷
- 密封件：Viton®、buna-N 和丁腈橡胶
- 其他：铝、Tygon®
一般
- 启动时间：从完全停止到启动需 5 分钟
- 最大环境温度：35 °C
- 电力要求：110 VAC @ 60 Hz 或 220 VAC @ 50 Hz（不可现场选择）
- 尺寸：8.0″ × 17.0″ × 24.0″（宽 × 高 × 深）
- 重量：75 磅
- 保修：材料或工艺缺陷的零件和人工保修一年。泵密封件和隔膜保修 90 天
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