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Thermo Electric 测温晶圆

测温晶圆(集成热电偶键合晶圆或RTD温度传感器)主要应用于需要精确监测和控制晶圆表面温度的半导体加工设备。

Thermo Electric公司的测温晶圆被广泛应用于多个工业领域,包括:
快速热处理(RTP)
快速热退火(RTA)
曝光后烘烤(PEB)
化学气相沉积(CVD)
物理气相沉积(PVD)
离子注入
太阳能电池
以及其他热驱动工艺

Thermo Electric拥有专业技术和经验,可在多种基底材料上设计和安装热电偶传感器,包括:

铝钛碳(AlTiC)
玻璃
陶瓷
客户提供的裸片、镀膜或图形化基底
同时提供其他定制基底材料、形状和尺寸的服务。


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