Thermo Electric设计和制造温度测量解决方案,保证为您提供灵敏度高、响应快、准确性一致且传感器之间具有最大的一致性。Thermo Electric致力于按时交付其创新的仪器化晶圆解决方案,并提供世界一流的技术服务。
Thermo Electric 晶圆传感器温度范围: 低温:-150 到 700°C 高温:-150 到 1200°C
热电偶可选(准确度):
- Type K: (±1.1°C or 0.4%) Range -270 to 1,372°C
- Type N: (±1.1°C or 0.4%) Range -270 to 1,300°C
- Type E: (±1.0°C or 0.4%) Range -270 to 1,000°C
- Type T: (±0.5°C or 0.4%) Range -270 to 400°C
- Type R/S: (±1.5°C or 0.25%) Range -50 to 1,768°C
基板尺寸可选:50mm, 75mm, 100mm, 125mm, 150mm, 200mm, 300mm
Thermo Electric公司的测温晶圆被广泛应用于多个工业领域,包括:
快速热处理(RTP)
快速热退火(RTA)
曝光后烘烤(PEB)
化学气相沉积(CVD)
物理气相沉积(PVD)
离子注入
太阳能电池
以及其他热驱动工艺