蒸发源
系列：汉克斯

汉克斯HM²多口袋电子枪™

我们的高效Hanks HM²电子枪™提供专利且屡获殊荣的模块化磁束聚焦系统，具备增强的束束准直，消除束旋。我们创新的Hanks HM² Hydra设计由一（1）或两（2）个紧凑型坩埚和发射器阵列组成，这些阵列线性平移，可同时共沉积多达六种不同材料。

HM²电子枪™的体积也是标准电子枪的三分之二，磁场效率提升350%。

特色：

• 优化的发射极和扫线圈组件
• 消除极柱——垂直安装的磁铁减少磁通量
• 0-200 Hz 扫频，可重复，蒸发均匀，无“隧道”和源物质喷发
• 精准稳定的蒸发速率低至1-2安培/秒
• 比传统蒸发源小35%，但体积、蒸发速率和功率容量等效
• 有HV版本 [2×10^-9托尔和超高频 [2×10]^-11托尔]
• 适合顺序蒸发或共蒸发
• 电源、坩埚衬里及其他配件可选

型号：

• 单曲

  — 7 cc 至 156 cc 单坩埚 / 1 个喷射器 – 6-20 千瓦

• 单旋转式

  — 7 cc 至 25 cc – 4 个坩埚 / 1 个发射器 – 6 和 10 千瓦

• 双胞胎™

  — 10 cc、15 cc、40 cc – 2个坩埚 / 2个喷射器 – 10 和 15 千瓦

• 三合会™

  — 10 cc、15 cc、40 cc – 3个坩埚 / 3个喷射器 – 6 千瓦和 10 千瓦

• 象限

  — 10 cc、15 cc、40 cc – 4 坩埚 / 4 个发射器 – 6 和 10 千瓦

• 九头蛇-1™

  — 5个坩埚的单阵列 / 1-3个发射器（详见下方Hydra描述）

• 九头蛇-2™

  —— 双阵列：5个坩埚/1-3个发射器，总计10个坩埚/2-6个发射器（详见下方Hydra描述）

Hanks HM² 电子枪的制造和保护受以下一项或多项专利保护：4,835,789;4,891,821;4,947,404

汉克斯HM²九头蛇e枪™

我们创新的Hanks HM² Hydra设计由一（1）或两（2）个紧凑型坩埚和发射器阵列组成，这些阵列线性平移，可同时共沉积多达六种不同材料。

Hydra配置对空间的高效利用允许在单次真空泵送中共沉积四种不同的六个坩埚组合，以及多达四十二种两种金属组合的排列组合。

Hydra消除了相邻源相互作用，无需复杂的束流方向和庞大的场分流组件。因此，共蒸发设计允许近源距离实现均匀涂层和材料相互作用。此外，每个源头单独的水冷防止蒸汽积聚，并避免为每个源配备独立的扫流盘管，促进每个源的运行参数与相邻源的完全独立性。