RCR Series 3 kW Multiple Crucible Rotary e-Gun™
新的Thermionics研究能力系列，3 kW多坩埚旋转e-Gun™，提供了增强的光束稳定性和高效的XY扫描，具有完整的坩埚覆盖范围，并可通过单独出售的自动分度器进行自动定位。
特征
真正的XY扫掠，完全覆盖坩埚
扫频线圈随电源一起提供
增强光束准直
插入式发射器模块
增强的高稳定性冷却
交叉污染屏蔽
坚固的设计
可选自动索引器
多坩埚电子枪的工作原理与单坩埚源相同，具有以下优点：
大量的蒸发剂供应——当每个坩埚都装有相同的源材料时，可以在一个真空循环中蒸发更多的蒸发剂。
在一个真空循环中沉积多达八种不同的材料——在单个真空循环中，可以将不同的材料放入每个坩埚中，并以任何顺序沉积。沉积速率与单坩埚模型的沉积速率相同。一次只加热一个坩埚。单丝保持静止，坩埚头通过驱动手柄定位。因此，蒸发总是从真空室中完全相同的位置开始。非活性坩埚通过磁极片与加热的坩埚屏蔽，从而消除了坩埚之间的污染。
高真空兼容
金属和弹性体密封，测量的基础压力：2 x 10-9Torr。
可互换坩埚
主坩埚轮可以从源的顶部移除，而无需完全拆卸源。这种灵活性允许现场升级。
所有多坩埚电子枪都可以安装在直径较大的ConFlat或矩形PyraFlat法兰上，单法兰或背对背法兰。
Specifications
| Operating Pressure | Below 5 x 10-5 Torr is desirable for best operation |
| Beam Voltage | 4,000 V |
| Beam Current | 0–750 mA continuously variable |
| Maximum Power | 3,000 W |
| Cooling Water | 1.5 gpm |
| Maximum Bakeout Temperature | 120°C (150°F) |
| Crucible Volume | 2.24 cc x 4, 6, or 8 crucibles |
安装配置
每个e-Gun™都有三种标准安装配置：
e-Gun™安装在PyraFlat或ConFlat金属密封型法兰上，该法兰使用标准OFE铜垫片
e-Gun™配备直径为1英寸的螺栓式安装座，通过直径为1”的孔安装，并由压缩O型圈密封
e-Gun™单独使用，无安装法兰
请在下单时指定安装配置；成本可能不包括螺栓式或法兰式安装。
Ordering Information
| Model No. | Crucibles |
|---|---|
| RCR0304-SD | 4 |
| RCR0304-BD | 4 |
| RCR0306-SD | 6 |
| RCR0306-BD | 6 |
| RCR0308-SD | 8 |
| RCR0308-BD | 8 |
