美国Thermionics ICR Series 15 kW e-Gun™ 15kW大功率多坩埚镀膜电子枪

ICR Series 15kW e-Gun™

The Thermionics ICR e-Gun™ is available with capacity up to 1500cc in a carousel configuration as pictured here or as a multi-pocket e-Gun™ with up to 10 each 75cc crucibles.

特性
真正的XY扫掠,完全覆盖坩埚
专有的防光束卷曲防护罩,可实现更长时间、更高效的运行。
坚固的驱动机构,防止堵塞
插入式发射器模块
增强的高稳定性冷却
内置交叉污染屏蔽(多口袋版本)
易于接近(无需拆卸)磁性调节
可选增加运行时间功能:差动泵送、放气和双灯丝

规格
工作压力:最好低于5 x 10-5托
束电压:10000 VDC
束流:0-1500mA连续可变
最大功率:15kW
冷却水:3.5 gpm
压差:最小25 psi
最高烘烤温度:130°C
坩埚体积:高达1500cc旋转木马或高达10 x 75cc多端口

 


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