蒸发源
系列：Hanks

我们的高效 Hanks HM² e-Guns™ 提供获得专利和屡获殊荣的模块化磁束聚焦系统，具有增强的光束准直功能，可消除光束卷曲。

HM² e-Gun™ 的尺寸也是标准 e-Gun 的 2/3，磁效率提高了 350%。

蒸发源
系列：Hanks

Hanks HM² 多口袋电子枪™

我们的高效 Hanks HM² e-Guns™ 提供获得专利和屡获殊荣的模块化磁束聚焦系统，具有增强的光束准直功能，可消除光束卷曲。我们创新的 Hanks HM² Hydra 设计由一 （1） 或两 （2） 个紧凑的坩埚和发射器阵列组成，它们彼此线性平移，可同时提供多达六种不同材料的共沉积。

HM² e-Gun™ 的尺寸也是标准 e-Gun 的 2/3，磁效率提高了 350%。

特征：

• 优化的发射器和扫频线圈组件
• 消除极片 – 垂直安装的磁铁可产生更少的磁通量
• 0-200 Hz 扫描，可重复，均匀蒸发，无“隧道”和源材料喷发
• 精确稳定的蒸发速率，低至 1-2 A/sec
• 比传统蒸发源小 35%，具有相同的体积、蒸发速率和功率容量
• 采用 HV [2×10^-9Torr] 和 UHV [2×10^-11托尔]
• 非常适合顺序蒸发或共蒸发
• 提供电源、坩埚衬垫和其他附件

模型：

• 单

  — 7 cc 至 156 cc 单坩埚 / 1 发射器 – 6-20 kW

• 单转台

  — 7 cc 至 25 cc – 4 个坩埚 / 1 个发射器 – 6 & 10 kW

• 双™

  — 10 cc， 15 cc， 40 cc – 2 个坩埚 / 2 个发射器 – 10 & 15 kW

• 三合会™

  — 10 cc， 15 cc， 40 cc – 3 坩埚 / 3 发射器 – 6 & 10 kW

• 夸德拉

  — 10 cc， 15 cc， 40 cc – 4 坩埚 / 4 发射器 – 6 & 10 kW

• 九头蛇-1™

  — 5 个坩埚 / 1-3 个发射器的单个阵列（有关详细信息，请参阅下面的 Hydra 描述）

• 九头蛇-2™

  — 5 个坩埚 / 1-3 个发射器的双阵列，总共 10 个坩埚 / 2-6 个发射器（有关详细信息，请参阅下面的 Hydra 描述）

Hanks HM² 电子枪受以下一项或多项专利的制造和保护：4,835,789;4,891,821;4,947,404

Hanks HM² Hydra 电子喷枪™

我们创新的 Hanks HM² Hydra 设计由一 （1） 或两 （2） 个紧凑的坩埚和发射器阵列组成，它们彼此线性平移，可同时提供多达六种不同材料的共沉积。

Hydra 配置对空间的有效利用允许在单个真空抽真空中实现六坩埚的四 （4） 种不同组合和多达四十二种两种金属组合的排列，用于共沉积。

Hydra 消除了相邻源的相互作用，无需复杂的光束方向和笨重的场分流组件。因此，共蒸发设计允许靠近源，以实现均匀的涂层和材料相互作用。此外，每个水源的单独水冷可防止蒸汽积聚，并为每个水源包含单独的清扫盘管，并促进每个水源的运行参数与相邻水源的完全独立性。

Hydra-1 & 2规格

电源

10 kW 型号：10kW+ e-Gun™ 电源 15 kW 型号：12kW e-Gun™ 电源