差分泵旋转密封(RNN)通过特高压系统的真空壁提供360°的连续旋转自由度。RNN具有两个阶段的差动泵送,它们通过在特殊密封面上的石墨浸渍,膨胀的Teflon®密封件隔离。预装的滚珠轴承组可精确控制旋转平台的位置。
RNN带有蠕虫驱动器微调选项。这样可以更轻松,更准确地调整角度。RNN也可用于防反冲步进或同步电动机驱动。
本文列出了ID最多为12″的RNN。较大的ID具有出色的性能。
技术指标
- 内径标准为1.53″至12″的型号,可根据要求提供更大的尺寸
- 可烘烤至150°C
- 固定法兰和旋转法兰,带螺纹
- 厚度大约是两个ConFlat型法兰的厚度
- 2级差动泵
- 基本压力在10 -11 托范围内
- 0-360°标尺,带游标,标准
RNN-400和更大型号的典型性能规格
- 分辨率:<0.004°
- 重复性:<0.008°
- 背隙:<0.035°
可读性规范
- 标准比例:1.0°
- 机械计数器:0.1°
- 需要微步进电机驱动器以实现最大分辨率
选件
- 微调蜗杆驱动
- 精细调整的数字读数,0.1°读数,机械,不可复位
- 提供机械计数器选项
- 防反冲步进电机驱动器每整步0.018°(RNN-150 / MS上为0.0225°/整步),带手动旋钮
- 可在/ FA单元上自定义抽气管长度和曲轴长度
有效载荷
下面列出了标准最大有效负载。较大的负载可以在特定的应用程序下处理。请向工厂咨询定制应用。
- 有效载荷的重心在设备的极轴的“ X”以内,其中X等于RNN ID的10%
- 有效负载的重心在水平安装单元上的旋转法兰的“ Y”距离内,其中Y是法兰ID
- 真空外的有效负载的最大总尺寸“ A”为:
垂直运行:7 x法兰外径水平运行:5 x法兰外径反向操作:7 x法兰外径

有效负载位置
表1. RNN系列差动泵式旋转密封

(包括可拆卸的调节扳手)
ID | 法兰 外径 |
A | B | C | D | E | F | G | H | 型号 编号 |
1.53 | 2.75 | 4.50 | 2.99 | 1.0 | 3.18 | 2.75 | .49 | .13 | 60° | RNN-150 |
1.53 | 2.75 / 6 1 | 6.00 | 2.99 | 1.34 | 3.33 | 2.75 | .15 | .13 | 45° | RNN-150 / 6 |
2.53 | 4.5 | 5.75 | 3.64 | 1.36 | 3.58 | 4.50 | .49 | .03 | 45° | RNN-250 |
2.53 | 4.5 / 6 1 | 6.00 | 3.64 | 1.52 | 3.71 | 4.50 | .33 | .03 | 45° | RNN-250 / 6 |
4.03 | 6 | 7.75 | 4.57 | 1.68 | 4.34 | 6.02 | .37 | .06 | 45° | RNN-400 |
6.03 | 8 | 10.25 | 6.16 | 1.74 | 5.70 | 8.00 | .42 | .13 | 54° | RNN-600 |
8.00 | 10 | 12.05 | 7.03 | 1.94 | 6.70 | 10.00 | .42 | .13 | 45° | RNN-800 |
10.00 | 13.25 | 15.75 | 8.81 | 2.37 | 8.50 | 13.28 | .29 | .13 | 24° | RNN-1000 |
12.00 | 14 | 20.00 | – | 3.34 | – | – | – | – | – | RNN-1200 |
尺寸(以英寸为单位)
1 分别表示安装法兰的尺寸
表2.带有微调的RNN / FA差动泵旋转密封1

ID | 法兰 外径 |
A | B | C | D | E | F | G | H | I | 传动 比 |
型号 编号 |
1.53 | 2.75 | 5.13 | 3.38 | 1.00 | 4.95 | 2.75 | .49 | 0.37 | 60° | 3 | 80:1 | RNN-150 / FA |
1.53 | 2.75 / 6 2 | 6.00 | 3.84 | 1.34 | 5.32 | 2.75 | .15 | 0.37 | 45° | 3 | 100:1 | RNN-150 / 6 / FA |
2.53 | 4.5 | 6.38 | 4.20 | 1.36 | 6.11 | 4.50 | .49 | 0.41 | 45° | 3 | 100:1 | RNN-250 / FA |
2.53 | 4.5 / 6 2 | 6.38 | 4.20 | 1.52 | 6.11 | 4.50 | .33 | 0.41 | 45° | 3 | 100:1 | RNN-250 / 6 / FA |
4.03 | 6 | 8.50 | 8.25 | 1.68 | 9.28 | 6.02 | .37 | 0.54 | 45° | 4 | 100:1 | RNN-400 / FA |
6.03 | 8 | 10.25 | 8.50 | 1.74 | 9.93 | 8.00 | .42 | 1.10 | 54° | 5 | 100:1 | RNN-600 / FA |
8.00 | 10 | 12.75 | 9.56 | 1.94 | 11.50 | 10.00 | .42 | 1.10 | 45° | 5 | 100:1 | RNN-800 / FA |
10.00 | 13.25 | 17.00 | 11.86 | 2.37 | 17.25 | 13.28 | .29 | .91 | 24° | 7 | 100:1 | RNN-1000 / FA |
12.00 | 14 | 咨询工厂 | RNN-1200 / FA |
尺寸(英寸)
1 微调单元利用蜗杆驱动,在RNN-400和更大型号上具有动态反冲功能。它们带有大旋钮和曲柄手柄。
2 分别表示安装法兰尺寸
表3.具有防反冲/ MS步进或/ MY同步电动机驱动器的RNN / MS或/ MY差动泵旋转密封1

ID | 法兰外径 | AB | CD | E | F | G | H | I | 传动比 | 型号编号 | ||
1.53 | 2.75 | 5.13 | 10.00 | 1.00 | 9.97 | 2.75 | .49 | 0.74 | 60° | 3.39 | 80:1 | RNN-150 / MS或/ MY |
1.53 | 2.75 / 6 2 | 5.13 | 10.00 | 1.34 | 9.97 | 2.75 | .15 | 0.74 | 45° | 3.39 | 100:1 | RNN-150 / 6 / MS或/ MY |
2.53 | 4.5 | 6.38 | 10.10 | 1.36 | 8.30 | 4.50 | .49 | 0.41 | 45° | 3.39 | 100:1 | RNN-250 / MS或/ MY |
2.53 | 4.5 / 6 2 | 6.38 | 10.10 | 1.52 | 8.30 | 4.50 | .33 | 0.41 | 45° | 3.39 | 100:1 | RNN-250 / 6 / MS或/ MY |
4.03 | 6 | 8.50 | 9.77 | 1.68 | 11.69 | 6.02 | .37 | 0.54 | 45° | 3.39 | 100:1 | RNN-400 / MS或/ MY |
6.03 | 8 | 10.20 | 10.13 | 1.74 | 11.69 | 8.00 | .42 | 1.10 | 54° | 3.39 | 100:1 | RNN-600 / MS或/ MY |
8.00 | 10 | 12.75 | 11.39 | 1.94 | 11.69 | 10.00 | .42 | 1.10 | 45° | 3.39 | 100:1 | RNN-800 / MS或/ MY |
10.00 | 13.25 | 咨询工厂 | RNN-1000 / MS或/ MY | |||||||||
12.00 | 14 | 咨询工厂 | RNN-1200 / MS或/ MY | |||||||||
18.00 | 24 | 咨询工厂 | RNN-1800 / MS | |||||||||
24.00 | 34 | 咨询工厂 | RNN-2400 / MS |
尺寸(英寸)
1 电机驱动单元采用蜗杆传动,并且均具有动态防反冲功能,并在电机后部配有旋钮2 分别表示安装法兰的尺寸
选件
机械计数器
- 添加数字读数以进行微调或电机驱动单元
- 0.1°读数,机械,不可复位
- 侧面可见
- 解决设备安装在平台上造成的障碍物妨碍度数视图的问题
- 选择/ MC选项时,不包括游标刻度
气门系统
- 允许第一级泵排空第二级泵
- 包括:两个改良的1.33英寸外径法兰奶嘴; BVV-025可烘烤阀;柔性金属管道
- 在RNN平台上组装
2 l / s离子泵附件
- 与阀组系统一起使用
- 允许连续泵送RNN
- 包括Alnico磁铁
- 需要离子泵控制单元
离子泵控制单元
- 与2 l / s附属离子泵组件一起使用
- 电源输入:115 VAC,60 Hz或230 VAC,50 Hz(需指定)
- 输出功率:5 kV DC
- 包括高压同轴电缆和电源线