Thermionics RCRF Series 3 kW Rod-Fed e-Gun™ RCRF系列镀膜电子枪
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系列：RCRF
3 千瓦杆状进料电子枪™
3 千瓦 RCRF 系列杆状进料电子枪使用直径最大为 3/8 英寸的杆状蒸发源材料，通过外部线性馈穿装置持续送入坩埚。可使用速率监测器控制薄膜厚度，且该监测器可安装在各种法兰上。
兼容超高真空
金属密封，完全兼容超高真空，测得的极限压力：2×10⁻¹¹ 托。
安装与配置
■3 千瓦杆状进料电子枪可在任何方向上安装和运行，包括倒置（取决于材料）
■照片中所示的杆状进料电子枪可穿过外径为 2.5 英寸的管子
■可提供用于包围电子枪的可选低温屏蔽罩
■多个杆状进料电子枪可并排安装
■可提供定制设计，请咨询厂家
克努森盒替代方案
电子枪可蒸发难熔材料，例如：碳、铌和硅。
配有所有必要的公用设施和机械馈穿装置的杆状进料电子枪，安装在 4.5 英寸外径的 ConFlat 安装法兰上，可直接替代瓦里安 / 英特瓦克、珀金 – 埃尔默、里伯、EPI 和 VG 系统上现有的克努森盒炉。
Specifications
| Feature | Specification |
| Operating Pressure | Below 5 x 10-5 Torr is desirable for best operation; fully UHV compatible design |
| Beam Voltage | 4,000 V |
| Beam Current | 0–750 mA continuously variable |
| Maximum Power | 3 kW @ 4 kV |
| Cooling Water | 1/2 gpm |
| Maximum Bakeout Temperature | 230°C (446°F) |
| Feedthrough Requirements | Two 7 kV 50 A |
| Crucible Volume | 1/4″ or 3/8″ diameter rod |
| e-Gun Size | 2.25″ diameter x 2.95″ L |
安装配置
每台电子枪有三种标准安装配置可供选择：
■ 安装在 PyraFlat 或 ConFlat 金属密封型法兰上的电子枪，采用标准的无氧铜垫片
■ 带有 1 英寸直径螺栓式安装座的电子枪，通过 1 英寸直径的孔进行安装，并由压缩 O 型圈密封
■ 仅电子枪，无安装法兰
