Thermionics RCL Series 3 kW Multiple Crucible Linear e-Gun™ RCL系列镀膜电子枪
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系列:RCL
3 千瓦多坩埚线性电子枪™
热离子研究能力系列的 3 千瓦多坩埚线性电子枪,具有增强的电子束稳定性和高效的 XY 扫描功能,可全面覆盖坩埚,且可配备自动定位器实现自动定位(自动定位器单独销售)。
特点
■ 真正的 XY 扫描,全面覆盖坩埚
■ 蒸发源包含扫描线圈
■ 增强的电子束准直性
■ 插入式发射极模块
■ 增强的高稳定性冷却
■ 交叉污染屏蔽
■ 坚固设计
■ 可选配自动定位器
Specifications
| Operating Pressure | Below 5 x 10-5 Torr is desirable for best operation |
| Beam Voltage | 4,000 VDC |
| Beam Current | 0–750 mA continuously variable |
| Maximum Power | 3 kW |
| Cooling Water | 1.5 gpm |
| Pressure Differential | 25 psi minimum |
| Maximum Bakeout Temperature | 230°C (446°F) |
| Crucible Volume | 2.24 cc x 3, 4 or 5 crucibles |

