Thermionics RCL 系列 3 kW 多坩埚线性电子束蒸发源 科研级电子束蒸发源

Thermionics 的 RCL 系列为科研级多坩埚线性电子束蒸发源，具备 3 千瓦功率输出，专为科研应用设计，为高精度、高稳定性应用设计。，具备增强的电子束稳定性与高效的 XY 扫描能力，实现 坩埚全覆盖。配备插拔式发射模块与扫描线圈组件，便于维护操作。该系列可提供全套电源、扫描控制器及配件（包括坩埚内衬）。该系列具有以下特点：

• 增强的电子束稳定性

• 高效的 XY 扫描功能

• 完整坩埚覆盖范围

此外，RCL 系列支持选配 自动定位换位器（Auto-Indexer），以实现自动换坩埚功能（需单独购买）。

产品特点

• 真正的 XY 扫描，实现坩埚全覆盖

• 标配扫描线圈（Sweep Coils）

• 束斑准直效果增强

• 可插拔式发射模块，便于更换和维护

• 高稳定性水冷系统

• 具备交叉污染防护设计

• 坚固耐用的工业级结构

• 支持选配自动换坩埚装置（Auto-Indexer）

技术规格