Thermionics RCF Series 3 kW Single Crucible e-Gun™ RCF系列3 kW镀膜电子枪

Thermionics RCF Series 3 kW Single Crucible e-Gun™ RCF系列3 kW镀膜电子枪

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蒸发源

系列:RCF

3 千瓦单坩埚电子枪

Thermionics 研究能力 RCF 系列单坩埚电子枪™提供增强的束流稳定性和高效的 XY 扫描,实现坩埚全覆盖。随附的插入式发射器和扫描线圈组件使电子枪源更易于维护。

特点

■ 真正的 XY 扫描,实现坩埚全覆盖

■ 源随附扫描线圈

■ 增强的束流准直

■ 插入式发射器模块

■ 增强的高稳定性冷却

■ 交叉污染屏蔽

■ 坚固设计

Specifications:

FeatureSpecifications
OperatingBelow 5 x 10-5 Torr is desirable for best operation
Beam Voltage4,000 VDC
Beam Current0–750 mA
continuously variable
Maximum Power3 kW
Cooling Water1.5 gpm
Pressure Differential25 psi minimum
Maximum Bakeout
Temperature
230°C (446°F)
Crucible Volume2.24 cc

安装配置

每台电子枪有三种标准安装配置可供选择:

■ 安装在 PyraFlat 或 ConFlat 金属密封型法兰上的电子枪,该法兰采用标准的无氧铜垫片

■ 带有 1 英寸直径螺栓式安装座的电子枪,通过 1 英寸直径的孔进行安装,并由压缩 O 型圈密封

■ 仅电子枪,无安装法兰

请在下单时注明安装配置;费用可能不包含螺栓式或法兰式安装座。


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