Thermionics HCR Series Rotary e-Gun™ HCR系列镀膜电子枪
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系列：HCR
HCR 系列旋转电子枪™有 3 到 8 个坩埚版本，可实现多达 8 种及以上材料的连续沉积。标准安装方式为 12 英寸外径的 CF 法兰，并包含自动分度器以及所有机械和电气连接。
特点
■ 可选 3 到 8 个坩埚
■ 270° 电子束偏转
■ 多坩埚、旋转设计
■ 可互换的坩埚组件
■ 长寿命发射极组件
■ 灯丝更换便捷
■ 永磁体电子束定位
■ 内置扫描线圈
■ 可选底部驱动或侧面驱动
Specifications
| Feature | Specifications |
| Maximum Power | 10 kW |
| Emission Voltage | -6 to -10 kV |
| Emission Current | 0 to 1 A |
| Filament | 700 W |
| E-Beam Deflection | 270° |
| Beam Spot Size | .25″ diameter, tight beam |
| Evaporation Rate | 1 gram/min @ 10 kW 36,000 Å/min Al @ 10″ (250 mm) source-to-substrate distance |
| X and Y Sweep | Longitudinal and lateral control up to 200 Hz when operated with Thermionics sweep controller |
| Water | 3 gpm, 20°C, 50 psi pressure differential |
| Crucible Material | OFE copper |
| Bakeout Temperature | 120°C (250°F) |
