Thermionics 的 HCR 系列 Rotary e-Gun™ 支持 3 至 8 个坩埚配置，能够实现在一个真空循环中依次蒸发多达 8 种或以上材料。其设计专为高效多层膜沉积、多材料薄膜工艺而优化。
标准安装方式为 12 英寸外径 CF 法兰，配套自动坩埚定位机构（Auto Indexer）及所有必要的机械、电气连接部件。
主要特点：
支持 3 至 8 个坩埚位，可实现多材料顺序沉积
標配 自动索引器（Auto Indexer），实现全自动坩埚定位切换
所有 机械与电气连接均已集成，便于快速安装与运行
标准安装法兰：12 英寸外径（O.D.）CF 法兰，适用于主流真空腔体接口
270° 电子束偏转角度，提高沉积覆盖范围
多坩埚旋转结构，便于多材料沉积
可更换式坩埚组件，便于维护和更换材料
长寿命发射组件
简便的灯丝更换设计
永磁束偏转控制，稳定性高
集成扫描线圈，实现 X、Y 方向束斑控制
提供 底部驱动 或 侧边驱动 两种结构
技术参数：
| 项目 | 参数说明 |
|---|---|
| 最大功率 | 10 kW |
| 发射电压 | -6 至 -10 kV |
| 发射电流 | 0 – 1 A（连续可调） |
| 灯丝功率 | 700 W |
| 束斑偏转角度 | 270° |
| 束斑尺寸 | 0.25 英寸直径（紧束斑） |
| 蒸发速率 | 1 克/分钟（@10 kW） 36,000 Å/min（铝，距离 10″） |
| 扫描频率 | X/Y 双向最高 200 Hz（配 Thermionics 控制器） |
| 冷却水要求 | 3 gpm，20°C，压差 50 psi |
| 坩埚材质 | OFE 高纯铜（无氧铜） |
| 烘烤温度上限 | 120°C（250°F） |
安装方式（选配）：
CF 或 PyraFlat 金属密封法兰安装型（使用标准 OFE 铜密封垫）
Ø1 英寸螺栓安装型（通过 Ø1 英寸孔安装，O 型圈密封）
裸机型（无安装法兰）
