Thermionics HCL Series Multiple Crucible Linear e-Gun™ HCL系列镀膜电子枪
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系列：HCL
高容量（HC 系列）线性多坩埚线性电子枪™
HCL 系列线性电子枪™是一款全金属密封电子枪。有 3、4、5 及更多坩埚版本可供选择，该源可实现多达 5 种及以上材料的连续沉积。标准安装方式为 12 英寸外径 CF 法兰，并包含自动分度器以及所有机械和电气连接。15cc 及更小规格的可安装在 10 英寸外径 CF 法兰上。
兼容超高真空
■ 金属密封，完全兼容超高真空，测得的极限压力：2×10⁻¹¹ 托。
■ 270° 电子束偏转
■ 灯丝完全隐藏，确保最大限度防止杂散粒子导致的短路。
■ 灯丝更换便捷
■ 灯丝对准工具在发射器组装过程中保持关键的灯丝公差，可实现快速准确的灯丝更换。
■ 永磁体电子束定位
■ 主电子束位置由永磁体控制；电磁铁仅用于精确定位和电子束扫描。
规格参数
■ 最大功率 15 千瓦
■ 发射电压 – 6 至 – 15 千伏
■ 发射电流 0 至 1 安
■ 灯丝 700 瓦
■ 电子束偏转 270°
■ 电子束斑点尺寸约 0.25 英寸直径的密集束
■ 蒸发速率在 10 千瓦下为 1 克 / 分钟，在源到衬底距离为 10 英寸（250 毫米）时，铝的蒸发速率为 36,000 埃 / 分钟
■ 水流量 3 加仑 / 分钟，压差 25 磅 / 平方英寸
■ 坩埚材料无氧电解铜
■ 烘烤温度 230°C
坩埚容积选项：
■ 7cc、15cc、25cc、40cc 和 75cc。
■ 可根据要求提供定制的 HCL 系列坩埚尺寸和配置。
