Thermionics 推出高容量线性电子枪(e-Gun™),采用Z系列坩埚索引器。与其他运动控制系统相比,该设计成本效益高且价格低廉。
主要特点
控制特性简单
高可靠性且运行稳定
速度控制范围广(电动版本)
电机寿命长
电脑(PC)控制
紧凑的执行器结构,便于增加更多源法兰接口
配有刻度尺,方便目视坩埚位置
规格参数
项目 | 说明 |
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运行压力 | 建议低于5×10⁻⁵ Torr以获得最佳性能 |
功率等级 | 6、10或15 kW |
灯丝电源 | 12 VAC,60 A |
最大功率 | 15 kW |
冷却水流量 | 2加仑/分钟(gpm) |
压力差 | 最小25 psi |
最高烘烤温度 | 200°C |
坩埚容积 | 7、10、15、25、40或75 cc |
订购信息
电机步进版(Motor Stepper)
描述 | 型号格式 |
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7 cc HCL系列电子枪,6 kW,3、4、5或6+孔位 | HCL-0607-X-ZST-MS |
10 cc HCL系列电子枪,10 kW,3、4、5或6+孔位 | HCL-1010-X-ZST-MS |
15 cc HCL系列电子枪,10 kW,3、4、5或6+孔位 | HCL-1015-X-ZST-MS |
25 cc HCL系列电子枪,10 kW,3、4、5或6+孔位 | HCL-1025-X-ZST-MS |
40 cc HCL系列电子枪,10 kW,3、4、5或6+孔位 | HCL-1040-X-ZST-MS |
75 cc HCL系列电子枪,15 kW,3、4、5或6+孔位 | HCL-1575-X-ZST-MS |
手动版(Manual)
描述 | 型号格式 |
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7 cc HCL系列电子枪,6 kW,3、4、5或6+孔位 | HCL-0607-X-ZST-M |
10 cc HCL系列电子枪,10 kW,3、4、5或6+孔位 | HCL-1010-X-ZST-M |
15 cc HCL系列电子枪,10 kW,3、4、5或6+孔位 | HCL-1015-X-ZST-M |
25 cc HCL系列电子枪,10 kW,3、4、5或6+孔位 | HCL-1025-X-ZST-M |
40 cc HCL系列电子枪,10 kW,3、4、5或6+孔位 | HCL-1040-X-ZST-M |
75 cc HCL系列电子枪,15 kW,3、4、5或6+孔位 |