Thermionics Hanks HM2 Hydra, Dynamic Source e-Gun™ Hanks 系列镀膜电子枪

Thermionics Hanks HM2 Hydra, Dynamic Source e-Gun™ Hanks 系列镀膜电子枪

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我们的高效汉克斯 HM² 电子枪™配备了获得专利和奖项的模块化磁体束聚焦系统，该系统具有增强的束准直功能，可消除束卷曲。

HM² 电子枪™的尺寸仅为标准电子枪的三分之二，磁效率却高出 350%。

蒸发源

系列：汉克斯（Hanks）

汉克斯 HM² 多腔电子枪™

我们高效的汉克斯 HM² 电子枪™配备了获得专利且屡获殊荣的模块化磁体束聚焦系统，具有增强的束准直性，可消除束卷曲。我们创新的汉克斯 HM² 水螅（Hydra）设计包含一（1）个或两（2）个紧凑型坩埚和发射器阵列，这些阵列可相对线性平移，能够同时共沉积多达六种不同的材料。

HM² 电子枪™的尺寸仅为标准电子枪的三分之二，磁效率却高出 350%。

特点：

■ 优化的发射器和扫描线圈组件

■ 省去极片 —— 垂直安装的磁体可减少磁通量

■ 0-200 Hz 扫描，蒸发可重复、均匀，无 “隧道效应” 和源材料喷溅

■ 精确稳定的蒸发速率，低至 1-2 埃 / 秒

■ 与具有同等体积、蒸发速率和功率容量的传统蒸发源相比，体积小 35%

■ 有高压型 [2×10⁻⁹ 托] 和超高真空型 [2×10⁻¹¹ 托] 可供选择

■ 适用于顺序蒸发或共蒸发

■ 提供电源、坩埚衬里和其他配件

Models:

• Single

  — 7 cc to 156 cc single crucible / 1 emitter – 6-20 kW

• Single Rotary

  — 7 cc to 25 cc – 4 crucible / 1 emitter – 6 & 10 kW

• Twin™

  — 10 cc, 15 cc, 40 cc – 2 crucible / 2 emitter – 10 & 15 kW

• Triad™ 

  — 10 cc, 15 cc, 40 cc – 3 crucible / 3 emitter – 6 & 10 kW

• Quadra

  — 10 cc, 15 cc, 40 cc – 4 crucible / 4 emitter – 6 & 10 kW

• Hydra-1™

  — Single array of 5 crucibles / 1-3 emitters (see Hydra description below for more details)

• Hydra-2™

  — Dual array of 5 crucibles / 1-3 emitters, totaling 10 crucibles / 2-6 emitters (see Hydra description below for more details)

Hanks HM² e-Guns are manufactured and protected under one or more of the following patents: 4,835,789; 4,891,821; 4,947,404

汉克斯 HM² Hydra 电子枪™

我们创新的汉克斯 HM² Hydra 设计包含一个（1）或两个（2）紧凑型坩埚和发射器阵列，这些阵列可相对线性移动，能够同时共沉积多达六种不同的材料。

Hydra 配置对空间的高效利用，使得在单次真空抽气过程中，可实现四种（4）不同的六坩埚组合以及多达四十二种双金属组合排列进行共沉积。

Hydra 无需复杂的光束导向和庞大的场分流组件，即可消除相邻源之间的相互作用。因此，这种共蒸发设计允许源之间近距离放置，以实现均匀涂层和材料相互作用。此外，每个源都配备独立的水冷系统，可防止蒸汽积聚；每个源还包含单独的扫描线圈，这促进了每个源的运行参数完全独立于相邻源。

Hydra-1 & 2 Specifications