Thermionics 推出双单腔10 kW和15 kW HM2电子束蒸发枪(e-beam)。Hanks HM2系列采用独特的模块化磁设计,实现更高效的电子束性能。
Hyper-Unimelt 200 Hz 扫描技术消除了电子束隧穿效应和源材料爆发现象。可插拔发射器组件和扫描线圈组件使得设备维护更加便捷。丝束易于校准,电子束准直效率更高,丝束变形极小,电子束尾迹被有效消除。
特点
配备适用于超高真空的扫描线圈(200 Hz)
取消极片设计
易于丝束校准
更高效的电子束准直
丝束变形极小
消除电子束尾迹
适合协同蒸发
腔室间隙极小,实现理想蒸汽羽流混合
每个蒸发源独立水冷
设计以消除交叉干扰
可选三点式可调导轨块