Thermionics推出Triad系列6 kW和10 kW HM2电子束蒸发枪。HM2 Triad系列采用独特模块化磁设计,实现更高效的电子束。Hyper-Unimelt 200 Hz扫描技术消除隧穿效应和材料喷溅。可插拔发射器组件和扫描线圈组件使维护更加便捷。丝束易于校准,电子束准直更高效,丝束变形极小,且消除电子尾迹。非常适合协同蒸发!
特点
规格
操作压力:低于5 × 10⁻⁵ Torr为最佳操作条件
功率输出:-7.5 至 -10 kV
丝束电压:12 VAC,60 A
最大功率:10 kW
冷却水流量:9 gpm
压力差:最低50 psi
最大烘烤温度:230°C
坩埚容量:10、15 或 40 cc