Thermionics 的 ICR 系列 e-Gun™ 提供高达 15 千瓦（kW） 的功率输出，专为大体积材料蒸发设计，适用于工业生产、高端研发及航空光学等领域景。该系列提供两种配置：
可选配置
转盘式（Carousel）结构
- 单坩埚最大容量可达 1500 cc，适合大批量单一材料沉积
- 坩埚顺序切换，提升工作连续性与效率多坩埚（Multi-pocket）结构
- 可选配 最多 10 个，每个 75 cc 的坩埚
- 支持多材料蒸发，可实现不同材料的连续沉积
- 适用于多层膜、功能梯度膜的制备工艺
主要特点
真实 XY 扫描，确保坩埚全覆盖，提升沉积均匀性
专利防束弯屏蔽装置，显著延长工作周期，提高沉积效率
坚固的驱动机构，防止转盘卡滞
插拔式电子束发射模块，便于快速维护
高稳定性冷却系统，保障连续高功率运行
内建交叉污染屏蔽系统（适用于多坩埚版本）
无需拆机即可调节磁控部件，维护便捷
可选扩展功能：
差分抽气系统（Differential Pumping）
精控气体泄露（Gas Bleed）
双灯丝冗余配置（Dual Filaments）
技术参数
| 项目 | 参数说明 |
|---|---|
| 推荐操作压力 | 低于 5 × 10⁻⁵ Torr（建议值） |
| 束压（Beam Voltage） | 10,000 VDC |
| 束流（Beam Current） | 0–1500 mA，连续可调 |
| 最大功率 | 15 kW |
| 冷却水流量 | 3.5 加仑/分钟（gpm） |
| 所需压差 | ≥ 25 psi |
| 最高烘烤温度 | 130°C |
| 坩埚容量（选配） | 转盘式：最高 1500 cc；多坩埚：10 个 × 75 cc 坩埚 |
