模块化磁体
Hanks HM2旋转多腔电子枪设计采用了独特的模块化磁体概念。该设计使得设备结构非常紧凑。所有Hanks HM2系列的独特功能均被集成于此型号。
Hyper-Unimelt 扫描技术（低速或高速均可实现最佳控制）
高频扫描（0-200 Hz）为用户提供了极大灵活性，通过旋转X-Y扫描控制器的旋钮，即可调节电子束的尺寸以适应不同蒸发材料。该功能对光学涂层及其他对电子束尺寸要求较高的材料尤为重要，能实现从1-2 Å到极高沉积速率的最佳控制。
技术规格
| 参数 | 6 kW | 10 kW |
|---|---|---|
| 输出功率 | 6 kW | 10 kW |
| 电子束电压 | 7.5 kV | 10 kV |
| 电子束电流 | 0 ~ 800 mA | 0 ~ 1.0 A |
| 坩埚容量 | 7 cc / 10 cc / 15 cc | 7 cc / 10 cc / 15 cc / 25 cc |
| 丝束 | 12 VAC，60A | 12 VAC，60A |
| 电子束偏转角度 | 270˚ | 270˚ |
| 蒸发速率 | 10 kW功率下约1克/分钟 | 10 kW功率下约1克/分钟 |
| 25厘米处沉积速率约3.6微米/分钟 | 25厘米处沉积速率约3.6微米/分钟 | |
| 电子束光斑尺寸 | 约0.25英寸圆形（可通过扫描控制器电调节定位） | 约0.25英寸圆形（可通过扫描控制器电调节定位） |
| 坩埚材质 | OFE铜 | OFE铜 |
| 烘烤温度 | 120°C（250°F） | 120°C（250°F） |
| 冷却水流量 | 3.0 gpm（过滤水）70 psi | 3.0 gpm（过滤水）70 psi |
| 最小冷却水管径 | 3/8英寸直径（6/10 kW型号） | 3/8英寸直径（6/10 kW型号） |
| 压力差 | 最小50 psi | 最小50 psi |
| X和Y方向扫描 | Hyper-Unimelt扫描（0至超过200 Hz） | Hyper-Unimelt扫描（0至超过200 Hz） |
