Thermionics 多坩埚蒸发源
Thermionics推出了我们的高容量线性e-Gun,其中包含Z系列转换器和坩埚蒸发源。与其他运动控制系统相比,它具有成本效益且价格低廉。
HCL电子枪电动Z系列坩埚蒸发源功能:
简单的控制特性
可靠性高且稳定
速度控制范围(电动版)
电机寿命长
计算机PC控制
较小的致动器轮廓允许额外的源法兰公用设施
坩埚视觉位置刻度
坩埚蒸发源技术特征:
操作压力 | 低于5×10-5Torr是最佳操作所需的 |
额定功率 | 6.10 or 15 kW |
灯丝 | 12 VAC 60A |
最大功率 | 15 kW |
冷凝水 | 2gpm |
压差 | 25 psi minimum |
最高烘烤温度 | 200° C |
坩埚体积 | 7, 10, 15, 25, 40 or 75 cc |
订购信息:
Motor Stepper
Description | Model No. |
7 cc HCL series e-Gun, 6 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets | HCL-0607-X-ZST-MS |
10 cc HCL series e-Gun, 10 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets | HCL-1010-X-ZST-MS |
15 cc HCL series e-Gun, 10 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets | HCL-1015-X-ZST-MS |
25 cc HCL series e-Gun, 10 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets | HCL-1025-X-ZST-MS |
40 cc HCL series e-Gun, 10 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets | HCL-1040-X-ZST-MS |
75 cc HCL series e-Gun, 15 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets | HCL-1575-X-ZST-MS |
Manual
Description | Model No. |
7 cc HCL series e-Gun, 6 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets | HCL-0607-X-ZST-M |
10 cc HCL series e-Gun, 10 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets | HCL-1010-X-ZST-M |
15 cc HCL series e-Gun, 10 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets | HCL-1015-X-ZST-M |
25 cc HCL series e-Gun, 10 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets | HCL-1025-X-ZST-M |
40 cc HCL series e-Gun, 10 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets | HCL-1040-X-ZST-M |
75 cc HCL series e-Gun, 15 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets | HCL-1575-X-ZST-M |