
Thermionics RNN系列差分泵送旋转密封件能够在保持系统真空完整性的前提下,为穿过超高真空系统腔壁的部件提供360°连续旋转自由度。RNN旋转密封件通过两级差分泵送实现密封,级间采用经石墨浸渍的膨体聚四氟乙烯密封件在特殊密封面上进行隔离。一套预紧的精密轴承组用于精确控制旋转台的位置。
RNN系列差分泵送旋转密封件可选配蜗轮蜗杆驱动微调装置,以实现更简便、更精准的角度调节。同时,也提供配备防反转步进电机或同步电机驱动的型号。
产品目录中列出了内径(I.D.)最大为12英寸的标准型号。我们亦可根据客户需求定制具有卓越性能的更大内径产品,特殊应用方案敬请垂询我们。

RNN系列差分泵送旋转密封件技术规格
标准型号内径(通径)为1.53英寸至12英寸,更大尺寸可定制
可烘烤至150°C
静止法兰与旋转法兰均带螺纹孔
厚度约等同于两个ConFlat型法兰
两级差分泵送
基础压力可达10⁻¹¹ 托量级
标准配置带0–360°刻度及游标
RNN-400及更大型号的典型性能规格
分辨率:< 0.004°
重复性:< 0.008°
回程差:< 0.035°
读数显示规格
标准刻度:1.0°
机械计数器:0.1°
需配备微步进电机驱动以实现最高分辨率

RNN系列差分泵送旋转密封件可选配置
蜗杆驱动微调装置
微调数字读数器:读数精度0.1°,机械式,不可重置
可选的机械计数器
防回程差步进电机驱动:每整步0.018°(RNN-150/MS型号为0.0225°/整步),带手动旋钮
可定制 /FA 型号的抽气管长度和曲轴长度
有效负载
标准最大有效负载如下所列。在特定应用条件下,可处理更大负载。定制应用请咨询工厂。
负载要求:
负载重心应位于设备极轴 “X” 范围内,其中 X 等于 RNN内径的10%。
对于水平安装的单元,负载重心应位于旋转法兰 “Y” 距离内,其中 Y 为 该法兰的内径。
真空外负载最大外形尺寸 “A”:
垂直操作:7 × 法兰外径
水平操作:5 × 法兰外径
倒置操作:7 × 法兰外径
RNN系列差分泵送旋转密封件主要型号:
| Model No. | Vertical | Horizontal | Inverted |
| RNN-150 | 54 lbs | 30 lbs | 45 lbs |
| RNN-250 | 90 lbs | 38 lbs | 70 lbs |
| RNN-400 | 144 lbs | 66 lbs | 110 lbs |
| RNN-600 | 180 lbs | 84 lbs | 140 lbs |
| RNN-800 | 200 lbs | 91 lbs | 160 lbs |
| RNN-1000 | 370 lbs | 160 lbs | 280 lbs |
| RNN-1200 | 430 lbs | 200 lbs | 350 lbs |
