美国Thermionics HCCS系列紧凑型电源可保护发射器和高压F/T在安装和维修过程中免受损坏和短路。H2O冷却系统增强了热传递,从而提高了速率稳定性并防止了对电子束源的损坏。这种紧凑型电源的设计便于安装。
HCCS系列紧凑型源10cc电子枪主要特征:
10 kW(最大-6kV至-10kV)电子枪电源
完全屏蔽的发射器和高压F/T
兼容高真空(HV)和超高真空(UHV)
低放气
用于薄膜和其他高精度沉积应用的高纯度蒸发。
无光束扫掠,专为金属材料设计
源快门(气动或手动)和高压馈通
紧凑型源可以转换为直径为1英寸的棒馈源