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电子枪™

电子束枪或 e-Gun™ 是一种高精度仪器，利用热能或场发射机制发射电子，设计用于高真空 （HV） 和超高真空 （UHV） 应用。Thermionics 设计的 e-Gun™ 将耐用性、效率和可靠性相结合，以支持您最先进的应用，包括编码沉积材料加工。

利用电子束技术，各行各业能够实现精确的蒸发速率，从而实现半导体制造、航空航天和储能领域的创新。无论是用于研究还是工业生产，我们的技术都能以准确的方式实现创新。

我们的 e-Gun™ 多孔系统为需要多种材料源的 UHV 应用提供了无与伦比的多功能性。这些装置专为高效的材料标定而设计，可最大限度地提高沉积精度，同时减少停机时间，是航空航天、光学和高级研究应用的理想选择。

系列：Hanks

我们的高效 Hanks HM² e-Guns™ 提供获得专利和屡获殊荣的模块化磁束聚焦系统，具有增强的光束准直功能，可消除光束卷曲。

HM² e-Gun™ 的尺寸也是标准 e-Gun 的 2/3，磁效率提高了 350%

Hanks HM² 多口袋电子枪™

我们的高效 Hanks HM² e-Guns™ 提供获得专利和屡获殊荣的模块化磁束聚焦系统，具有增强的光束准直功能，可消除光束卷曲。我们创新的 Hanks HM² Hydra 设计由一 （1） 或两 （2） 个紧凑的坩埚和发射器阵列组成，它们彼此线性平移，可同时提供多达六种不同材料的共沉积。

特征：

• 优化的发射器和扫频线圈组件
• 消除极片 – 垂直安装的磁铁可产生更少的磁通量
• 0-200 Hz 扫描，可重复，均匀蒸发，无“隧道”和源材料喷发
• 精确稳定的蒸发速率，低至 1-2 A/sec
• 比传统蒸发源小 35%，具有相同的体积、蒸发速率和功率容量
• 采用 HV [2×10^-9Torr] 和 UHV [2×10^-11托尔]
• 非常适合顺序蒸发或共蒸发
• 提供电源、坩埚衬垫和其他附件

模型：

• 单— 7 cc 至 156 cc 单坩埚 / 1 发射器 – 6-20 kW
• 单转台— 7 cc 至 25 cc – 4 个坩埚 / 1 个发射器 – 6 & 10 kW
• 双™— 10 cc， 15 cc， 40 cc – 2 个坩埚 / 2 个发射器 – 10 & 15 kW
• 三合会™— 10 cc， 15 cc， 40 cc – 3 坩埚 / 3 发射器 – 6 & 10 kW
• 四™— 10 cc， 15 cc， 40 cc – 4 坩埚 / 4 发射器 – 6 & 10 kW
• Hydra-1™— 5 个坩埚 / 1-3 个发射器的单个阵列（有关详细信息，请参阅下面的 Hydra 描述）
• Hydra-2™— 5 个坩埚 / 1-3 个发射器的双阵列，总共 10 个坩埚 / 2-6 个发射器（有关详细信息，请参阅下面的 Hydra 描述）

Hanks HM² Hydra 电子枪™

我们创新的 Hanks HM² Hydra 设计由一 （1） 或两 （2） 个紧凑的坩埚和发射器阵列组成，它们彼此线性平移，可同时提供多达六种不同材料的共沉积。

Hydra 配置对空间的有效利用允许在单个真空抽真空中实现六坩埚的四 （4） 种不同组合和多达四十二种两种金属组合的排列，用于共沉积。

Hydra 消除了相邻源的相互作用，无需复杂的光束方向和笨重的场分流组件。因此，共蒸发设计允许靠近源，以实现均匀的涂层和材料相互作用。此外，每个水源的单独水冷可防止蒸汽积聚，并为每个水源包含单独的清扫盘管，并促进每个水源的运行参数与相邻水源的完全独立性。

Hydra-1 & 2规格