真实的XY扫描和坩埚的全部覆盖，扫描线圈，束流增强，插入发射模块，高性能冷却，交叉污染屏蔽，坚固的设计，可互换的坩埚，高真空兼容。

操作压力：5*10-5托

束流电压：4,000 VDC

束流强度：0-750mA 持续可变

最大功率：3kW

冷却水：1.5gpm

压差：最小25psi

最大烘焙温度：120℃

坩埚容积：2.24cc（4，6或者8个坩埚）