美国Thermionics, e-Gun™,电子枪TM , e-Gun™ – 单刀槽,RCRF 系列 3 kW 杆式电子枪™
RCRF 系列 3 kW 杆式电子枪™
蒸发源
系列：RCRF
3 kW RCRF 系列杆式电子喷枪™使用直径达 3/8 英寸的棒状蒸发源材料，通过外部线性馈通连续送入坩埚。薄膜厚度可以使用速率监视器进行控制，并且可以安装在各种法兰上。
蒸发源
系列：RCRF
3 kW 杆式电子枪™
3 kW RCRF 系列杆式电子喷枪使用直径达 3/8 英寸的棒状蒸发源材料，通过外部线性馈通连续送入坩埚。薄膜厚度可以使用速率监视器进行控制，并且可以安装在各种法兰上。
兼容 UHV
金属密封，完全兼容 UHV，测量极限压力：2 x 10-11托。
安装和配置
- 3 kW 杆式 e-Gun 可以在任何方向安装和操作，包括倒置（取决于材料）
- 照片中显示的杆式 e-Gun 可以穿过 2.5 英寸外径的管子
- 提供用于包围 e-Gun 的可选低温护罩
- 多个杆式 e-Gun 可以并排安装
- 可提供定制设计，请咨询工厂
Knudsen 细胞置换
e-Gun 可以蒸发难蒸发的材料，即：碳、铌和硅。
棒式电子喷枪，配有所有必要的公用设施和机械馈通件，安装在 4.5 英寸外径的 ConFlat 安装法兰上，可直接替代 Varian/Intevac、Perkin-Elmer、Riber、EPI 和 VG 系统上现有的克努森电池炉。
请致电讨论您的具体应用要求。
规格
| 特征 | 规范 |
| 工作压力 | 低于 5 x 10-5Torr 是最佳操作的理想选择;完全兼容 UHV 的设计 |
| 光束电压 | 4,000 伏 |
| 束流 | 0–750 mA 连续可变 |
| 最大功率 | 3 千瓦 @ 4 kV |
| 冷却水 | 1/2 加仑/分钟 |
| 最大烘烤 温度 | 230°C （446°F） |
| 馈入要求 | 两个 7 kV 50 A |
| 坩埚体积 | 直径为 1/4 英寸或 3/8 英寸的杆 |
| e-Gun 尺寸 | 2.25 英寸直径 x 2.95 英寸长 |
安装配置
每个 e-Gun 都提供三种标准安装配置：
- e-Gun 安装在 PyraFlat 或 ConFlat 金属密封型法兰上，使用标准 OFE 铜垫圈
- e-Gun 带有 1 英寸直径的螺栓式安装座，可通过 1 英寸直径的孔安装，并由压缩 O 形圈密封
- 单独使用 e-Gun，无需安装法兰
请在下订单时指定安装配置;成本可能不包括螺栓型或法兰型安装。
通常提供其他安装法兰、配置和几何形状，请致电工厂了解更多信息。
订购信息
| 型号 | 描述 |
|---|---|
| RCRF0325 | 仅限杆式 e-Gun |
| RCRF0325/SK | 杆式 e-Gun，带有所有公用、电气和机械馈入装置 |
