美国Thermionics e-Gun HCL系统坩埚蒸发源, 多坩埚蒸发源

Thermionics 多坩埚蒸发源

Thermionics推出了我们的高容量线性e-Gun,其中包含Z系列转换器坩埚蒸发源。与其他运动控制系统相比,它具有成本效益且价格低廉。

HCL电子枪电动Z系列坩埚蒸发源功能:
简单的控制特性
可靠性高且稳定
速度控制范围(电动版)
电机寿命长
计算机PC控制
较小的致动器轮廓允许额外的源法兰公用设施
坩埚视觉位置刻度

坩埚蒸发源技术特征:

操作压力低于5×10-5Torr是最佳操作所需的
额定功率6.10 or 15 kW
灯丝12 VAC 60A
最大功率15 kW
冷凝水2gpm
压差25 psi minimum
最高烘烤温度200° C
坩埚体积7, 10, 15, 25, 40 or 75 cc

订购信息:

 Motor Stepper

DescriptionModel No.
7 cc HCL series e-Gun, 6 kW, 3, 4, 5, or 6+ pocketsHCL-0607-X-ZST-MS
10 cc HCL series e-Gun, 10 kW, 3, 4, 5, or 6+ pocketsHCL-1010-X-ZST-MS
15 cc HCL series e-Gun, 10 kW, 3, 4, 5, or 6+ pocketsHCL-1015-X-ZST-MS
25 cc HCL series e-Gun, 10 kW, 3, 4, 5, or 6+ pocketsHCL-1025-X-ZST-MS
40 cc HCL series e-Gun, 10 kW, 3, 4, 5, or 6+ pocketsHCL-1040-X-ZST-MS
75 cc HCL series e-Gun, 15 kW, 3, 4, 5, or 6+ pocketsHCL-1575-X-ZST-MS

 

Manual

DescriptionModel No.
7 cc HCL series e-Gun, 6 kW, 3, 4, 5, or 6+ pocketsHCL-0607-X-ZST-M
10 cc HCL series e-Gun, 10 kW, 3, 4, 5, or 6+ pocketsHCL-1010-X-ZST-M
15 cc HCL series e-Gun, 10 kW, 3, 4, 5, or 6+ pocketsHCL-1015-X-ZST-M
25 cc HCL series e-Gun, 10 kW, 3, 4, 5, or 6+ pocketsHCL-1025-X-ZST-M
40 cc HCL series e-Gun, 10 kW, 3, 4, 5, or 6+ pocketsHCL-1040-X-ZST-M
75 cc HCL series e-Gun, 15 kW, 3, 4, 5, or 6+ pocketsHCL-1575-X-ZST-M

 


Related posts