特征
- 可完全组装至200°C烘烤；没有用于建筑的铸件
- 硬化钢X和Y交叉滚子导轨
- 双0.75“ OD硬化不锈钢Z导杆
- 铝制舞台结构
- 仅有不锈钢的材料暴露于真空中
- 全位置操作
X和Y轴
- X和Y行程为±0.5英寸，圆形，预装微米级耦合，0.001微米刻度
- 可烘烤至200°C的千分尺
Z轴
- 0.100“ /旋钮调节
技术指标
| 基础法兰外径 | 波纹管 I.D. |
行程 法兰 |
Z旅行 | 型号。 |
| 2.75 | 1.39 | 2.75 | 2 | EC-B275C-T275T-1.39-2 |
| 2.75 | 1.39 | 2.75 | 4 | EC-B275C-T275T-1.39-4 |
| 2.75 | 1.39 | 2.75 | 6 | EC-B275C-T275T-1.39-6 |
| 4.5 | 1.87 | 2.75 | 2 | EC-B450C-T275T-1.87-2 |
| 4.5 | 1.87 | 2.75 | 4 | EC-B450C-T275T-1.87-4 |
| 4.5 | 1.87 | 2.75 | 6 | EC-B450C-T275T-1.87-6 |
精确
| 轴 | 千分尺 刻度 |
解析度 | 重复性 | 反冲 | 调整 |
| XY | 0.001英寸 | <0.001“ | <0.00015“ | <0.00015“ | 标准 千分尺 |
| ž | 0.0005“ | <0.0005“ | 0.0005“ | 0.0007英寸 | 旋钮调整 |
| XY | 0.0001“ | <0.0001“ | <0.00015“ | <0.00015“ | 可选 大千分尺 |
选件
6英寸基础法兰- 型号：-B600C
- 将基础法兰更改为外径6.0“
- 可以与任何型号一起订购此选项
具有5个微型端口的6英寸基础法兰- 型号：-B600MC
- 通过5个微型端口将基础法兰更改为外径为6.0“
- 该选项只能在ID为1.39“的波纹管中订购
XY千分尺，±0.5“行程- 型号：/ LM
- 带有0.0001“分隔的大千分尺
- 一套两个
机动化
提供步进和同步电动机驱动器选项
